[實用新型]麥克風結構

有效

• 申請號: 202220824554.3
• 申請日: 2022-04-11
• 公開（公告）號: CN217283379U
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 孟燕子;榮根蘭;胡維
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 上海恒銳佳知識產權代理事務所(普通合伙) 31286
• 代理人: 黃海霞

1.一種麥克風結構，其特征在于，包括背板和振膜，所述背板和所述振膜通過第二犧牲層固定連接，所述背板包括依次設置的支撐層和導電層，所述支撐層位于所述導電層和所述振膜之間，所述振膜包括可動區和固定區，所述固定區設置在所述可動區外側，所述可動區包括與所述導電層正對設置的感應部，以及位于所述感應部和所述固定區之間的非感應部，所述感應部的上表面與所述支撐層的下表面之間的垂直距離小于所述非感應部與所述支撐層下表面的垂直距離。

2.根據權利要求1所述的麥克風結構，其特征在于，所述感應部的上表面與所述非感應部的上表面處于不同的平面。

3.根據權利要求2所述的麥克風結構，其特征在于，所述感應部和所述非感應部之間設置有紋膜結構。

4.根據權利要求1所述的麥克風結構，其特征在于，所述感應部的上表面與所述非感應部的上表面處于同一個平面，所述導電層嵌入所述支撐層。

5.根據權利要求4所述的麥克風結構，其特征在于，所述支撐層向下凸起，所述導電層嵌入所述支撐層內部的距離與所述支撐層向下凸起的距離相等。

6.根據權利要求1所述的麥克風結構，其特征在于，所述固定區通過所述第二犧牲層與所述支撐層連接。

7.根據權利要求2所述的麥克風結構，其特征在于，所述導電層沿著垂直于所述振膜所在平面方向的投影完全落在所述感應部上。

8.根據權利要求1至7任一項所述的麥克風結構，其特征在于，包括設置在所述振膜下方的襯底層，所述襯底層通過第一犧牲層與所述振膜連接。

9.根據權利要求8所述的麥克風結構，其特征在于，所述第二犧牲層的厚度為所述第一犧牲層厚度的2～6倍。

10.根據權利要求8所述的麥克風結構，其特征在于，所述支撐層相對所述振膜的一面設置有防粘結層，且所述防粘結層沿著垂直于所述振膜所在平面方向的投影落在所述可動區。