[實用新型]長晶爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220815943.X
• 申請日: 2022-04-07
• 公開（公告）號: CN217173944U
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐進
• 申請（專利權(quán)）人: 新疆藍晶新材料科技有限公司;北京遠大信達科技有限公司
• 主分類號: C30B17/00
• 分類號: C30B17/00
• 代理公司: 北京英創(chuàng)嘉友知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11447
• 代理人: 張浪

1.一種長晶爐，其特征在于，包括坩堝(1)、籽晶桿(2)、加熱結(jié)構(gòu)(3)、第一冷卻結(jié)構(gòu)(4)，所述籽晶桿(2)的一端伸入所述坩堝(1)內(nèi)，所述加熱結(jié)構(gòu)(3)和所述第一冷卻結(jié)構(gòu)(4)均位于所述坩堝(1)的外部，所述第一冷卻結(jié)構(gòu)(4)位于所述坩堝(1)的上方，所述加熱結(jié)構(gòu)(3)位于所述第一冷卻結(jié)構(gòu)(4)的下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐，其特征在于，所述第一冷卻結(jié)構(gòu)(4)為第一冷卻管，所述第一冷卻管包括內(nèi)側(cè)冷卻管(41)和位于所述內(nèi)側(cè)冷卻管(41)外側(cè)的外側(cè)冷卻管(42)，所述內(nèi)側(cè)冷卻管(41)和所述外側(cè)冷卻管(42)均用于供冷媒流過。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的長晶爐，其特征在于，至少部分所述內(nèi)側(cè)冷卻管(41)圍繞所述籽晶桿(2)盤繞成第一渦旋盤管(411)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的長晶爐，其特征在于，所述外側(cè)冷卻管(42)環(huán)繞所述內(nèi)側(cè)冷卻管(41)設(shè)置，所述外側(cè)冷卻管(42)包括沿上下方向延伸的多個豎直段(421)、頂部折彎段(422)以及底部折彎段(423)，多個所述豎直段(421)圍繞所述內(nèi)側(cè)冷卻管(41)間隔設(shè)置，每個所述豎直段(421)的頂部與其相鄰的一個豎直段(421)的頂部通過所述頂部折彎段(422)連接，每個所述豎直段(421)的底部與其相鄰的另一個豎直段(421)的底部通過所述底部折彎段(423)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐，其特征在于，所述長晶爐(100)還包括位于所述坩堝(1)外部的第二冷卻結(jié)構(gòu)(5)，所述第二冷卻結(jié)構(gòu)(5)位于所述坩堝(1)的下方，所述加熱結(jié)構(gòu)(3)位于所述第二冷卻結(jié)構(gòu)(5)的上方。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的長晶爐，其特征在于，所述坩堝(1)的下方設(shè)置有支撐柱(11)，所述第二冷卻結(jié)構(gòu)(5)為第二冷卻管，所述第二冷卻管用于供冷媒流過，至少部分所述第二冷卻管圍繞所述支撐柱(11)盤繞成第二渦旋盤管。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的長晶爐，其特征在于，所述長晶爐(100)還包括頂部隔熱屏(6)、側(cè)部隔熱屏(7)和底部隔熱屏(8)，所述頂部隔熱屏(6)位于所述第一冷卻結(jié)構(gòu)(4)與所述坩堝(1)之間，所述側(cè)部隔熱屏(7)位于所述加熱結(jié)構(gòu)(3)背離所述坩堝(1)的一側(cè)，所述底部隔熱屏(8)位于所述加熱結(jié)構(gòu)(3)與所述第二冷卻結(jié)構(gòu)(5)之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的長晶爐，其特征在于，所述頂部隔熱屏(6)和所述底部隔熱屏(8)均包括沿上下方向堆疊的多個隔熱板。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的長晶爐，其特征在于，所述長晶爐(100)還包括外殼(9)，所述坩堝(1)、所述加熱結(jié)構(gòu)(3)、所述第一冷卻結(jié)構(gòu)(4)以及所述第二冷卻結(jié)構(gòu)(5)均設(shè)置在所述外殼(9)內(nèi)，所述籽晶桿(2)遠離所述坩堝(1)的一端向外伸出于所述外殼(9)，所述第一冷卻結(jié)構(gòu)(4)與所述外殼(9)的頂部連接，所述第二冷卻結(jié)構(gòu)(5)與所述外殼(9)的底部連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項所述的長晶爐，其特征在于，所述加熱結(jié)構(gòu)(3)包括環(huán)狀加熱體(31)、與所述環(huán)狀加熱體(31)的底部連接的底部加熱體(32)以及加熱電極(33)，所述環(huán)狀加熱體(31)沿所述坩堝(1)的周向包圍所述坩堝(1)，所述底部加熱體(32)位于所述坩堝(1)的下方，所述加熱電極(33)與所述環(huán)狀加熱體(31)連接。