[實用新型]一種波導調配器

有效

• 申請號: 202220809590.2
• 申請日: 2022-04-08
• 公開（公告）號: CN216980839U
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發明（設計）人: 崔名揚;鄭逢達;李宏利;方海江
• 申請（專利權）人: 河南天璇半導體科技有限責任公司
• 主分類號: H01P3/00
• 分類號: H01P3/00;H01P3/12
• 代理公司: 鄭州睿信知識產權代理有限公司 41119
• 代理人: 胡偉華

本實用新型涉及一種波導調配器，波導調配器包括波導管、固定座、調節柱、旋鈕、傳動桿、密封件，固定座上設有調節柱裝配孔、傳動桿裝配孔，傳動桿裝配孔與調節柱裝配孔上下貫通，傳動桿包括上穿出段、中間段和下穿入段，傳動桿的中間段轉動裝配在傳動桿裝配孔處，傳動桿的下穿入段穿入調節柱裝配孔中，并通過絲桿螺母機構與調節柱連接，傳動桿的上穿出段與旋鈕固定，在旋擰旋鈕時帶動傳動桿轉動進而帶動調節柱上下活動；密封件設置在傳動桿裝配孔的外圍且夾設在固定座的上端面與旋鈕的下端面之間，能夠有效避免灰塵進入波導調配器內部，且能夠充當阻尼，使調節過程能夠精密控制。

技術領域

本實用新型涉及波導技術領域，具體涉及一種波導調配器。

背景技術

微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)法因其放電穩定，便于控制且無電極污染等優勢成為制備高品質單晶金剛石的首選方法。一套完整的MPCVD設備主要由微波電源、諧振腔、氣路系統、電路系統、水路系統以及相應的調節系統組成。調節系統即波導調配器，波導調配器一般為三螺釘調配器，在使用過程中不斷調節螺釘伸入矩形波導管中的長度，使系統反射功率達到最小值，提高系統的穩定性。傳統三螺釘調配器存在微波泄露高、工作溫度高等問題，難以實現對高功率微波傳輸線的有效調節。

授權公告號為CN205723894U的專利文件中公開了一種水冷式三螺釘調配器，其包括并排設置在矩形波導上的三個銷釘調節系統，銷釘調節系統即為銷釘調節機構，包括扼流結構、介質塊、調節螺母、銷釘、軸承及冷卻水管組，扼流結構即為固定座以與矩形波導固定連接，扼流結構上開設有扼流槽，介質塊設置在扼流槽內，矩形波導即為波導管，銷釘即為調節柱，扼流結構具有調節柱裝配孔，調節柱穿設在扼流結構的調節柱裝配孔中，底部伸入矩形波導；調節螺母套設在銷釘上，軸承夾持固定在調節螺母與銷釘之間，調節螺母的底端與扼流結構螺紋連接，調節螺母即為旋鈕，通過旋擰調節螺母相對扼流結構上升或下降，進而帶動軸承及銷釘上升或下降，銷釘伸入矩形波導的深度可進行改變，銷釘為底端封閉的管體，冷卻水管組設置在銷釘內部，將循環冷卻水通入銷釘內部，這樣的波導調配器實現了工作溫度低、微波泄露小。

但是，上述的銷釘式波導調配器，調節螺母是旋裝在固定座外部，而且需要使調節螺母與銷釘一起升降，這樣灰塵容易從調節螺母與固定座之間的螺紋配合處進入導向座內，進而進入波導管內腔中，影響微波傳輸，同時，軸承也是暴露于外部，不利于防塵。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種波導調配器，以解決現有的波導調配器容易進灰塵的問題。

本實用新型的波導調配器的技術方案是：

波導調配器，包括波導管、固定座、調節柱、旋鈕，固定座上設有沿上下方向延伸的調節柱裝配孔，調節柱穿入調節柱裝配孔中，調節柱的下端伸入波導管中，旋鈕轉動設置在固定座上，旋鈕與調節柱傳動連接以帶動調節柱上下活動，還包括傳動桿、密封件，固定座上還設有傳動桿裝配孔，傳動桿裝配孔與調節柱裝配孔上下貫通，傳動桿包括上穿出段、中間段和下穿入段，傳動桿的中間段轉動裝配在傳動桿裝配孔處，傳動桿的下穿入段穿入調節柱裝配孔中，并通過絲桿螺母機構與調節柱連接，傳動桿的上穿出段與旋鈕固定，在旋擰旋鈕時帶動傳動桿轉動進而帶動調節柱上下活動；調節柱與固定座之間設有止轉結構，止轉結構用于在調節柱上下活動時阻止調節柱相對固定座轉動；固定座、旋鈕均為柱體結構，固定座的上端面與旋鈕的下端面相對，密封件設置在傳動桿裝配孔的外圍且夾設在固定座的上端面與旋鈕的下端面之間。

有益效果：通過旋擰旋鈕帶動傳動桿相對于固定座轉動，傳動桿通過絲桿螺母機構帶動調節柱上下活動，進而實現調節柱下端伸入波導管內的深度調節；由于將螺紋配合結構設置在調節柱裝配孔內，且固定座的上端面與旋鈕的下端面之間夾設有密封件，密封件能夠與固定座的上端面、旋鈕的下端面緊密接觸，一方面能夠有效避免灰塵進入波導調配器內部，另一方面，密封件能夠充當阻尼，對旋鈕的旋擰產生一定的阻力，便于操作人員控制旋鈕的旋轉量，使調節過程能夠精密控制。