[實用新型]高效單晶爐用上爐室

有效

• 申請號: 202220785511.9
• 申請日: 2022-04-02
• 公開（公告）號: CN218059286U
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 許建楓
• 申請（專利權）人: 浙江昱力機電科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種高效單晶爐用上爐室，涉及單晶生長設備，旨在解決在法蘭結構和雙層筒狀結構的連接處，容易在壓力作用下發生形變，造成密封不牢而出現漏水的情況，影響單晶爐的使用的問題，其技術方案要點是：包括呈雙層結構的筒體，筒體內設有用于容納冷卻介質流動的隔腔,筒體的兩端分別固定連接有連接法蘭，連接法蘭與筒體的連接處設有密封結構。本實用新型在螺旋流道的基礎上，增加冷卻介質流動路徑的長度，在冷卻液流經時，充分帶走積累的熱量，消除熱量堆積而產生的熱應力，設置復投進水口和復投出水口，能通過外部連接的管路結構實現冷卻介質的復投循環，提高冷卻的效率，消除熱應力的積蓄。

技術領域

本實用新型涉及單晶生長設備，更具體地說，它涉及一種高效單晶爐用上爐室。

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。多晶體硅料經加熱熔化，待溫度合適后。經過籽晶浸入，熔接，引晶，放肩，轉肩，等經，收尾等步驟，完成一根單晶錠的拉制。在生產制備過程中，在收尾完成后停爐6個小時左右的時間進行拆爐，取出晶體，對爐內的揮發物進行清除，并用酒精擦洗。

作為單晶爐體的主要大件，單晶爐主爐室的結構創新顯得尤為重要，既能提高產能、降低生產成本，又能保證質量穩定性，確保在升溫及降溫中不會出現漏水或密封不牢；又能快速的冷卻，而現有的單晶爐的主爐室在采用雙層筒狀結構，兩端為法蘭結構，通水冷卻，并有隔水片保證冷卻均勻，雙層筒體狀結構的主爐室內的冷卻水在升溫以及降溫過程中，在熱應力的作用下增大雙層筒狀結構處的應力，尤其在法蘭結構和雙層筒狀結構的連接處，容易在壓力作用下發生形變，造成密封不牢而出現漏水的情況，影響單晶爐的使用。

因此需要提出一種新的方案來解決這個問題。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種高效單晶爐用上爐室。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種高效單晶爐用上爐室，包括呈雙層結構的筒體，所述筒體內設有用于容納冷卻介質流動的隔腔,所述筒體的兩端分別固定連接有連接法蘭，所述連接法蘭與筒體的連接處設有密封結構，所述密封結構與連接法蘭的端面以及筒體固定連接用于提供消除筒體受熱應力產生的作用力。

通過采用上述技術方案，雙層結構的筒體容納冷卻介質在隔腔內流動，起到良好冷卻的作用，并且連接法蘭與筒體之間在固定結構的基礎上增加密封結構，提供消除筒體端部以及連接法蘭端面的熱應力產生的作用力，提高了主爐體的抗形變能力和密封性，具備良好的使用壽命。

本實用新型進一步設置為：所述筒體包括內筒以及套設在內筒外的外筒，所述內筒的外周壁上固定連接有呈螺旋結構的隔水片，所述隔水片與外筒的內周壁貼合。

通過采用上述技術方案，筒體由內筒和外筒相互套設而成，在內筒的表面固定連接呈螺旋結構的隔水片，且隔水片與外筒的內周壁貼合，實現冷卻介質能沿著隔水片呈螺旋流動，帶走主爐室的溫度，提高冷卻效果。

本實用新型進一步設置為：所述內筒的外周壁上固定連接有沿冷卻介質流動方向傾斜設置的擋水條，若干擋水條分別間隔設置在隔水片的兩側，用以于隔腔內形成呈螺旋曲折的冷卻流道。

通過采用上述技術方案，內筒的外壁上還設置擋水條，實現在螺旋流道的基礎上，增加冷卻介質流動路徑的長度，在冷卻液流經時，充分帶走積累的熱量，消除熱量堆積而產生的熱應力。

本實用新型進一步設置為：所述連接法蘭上開設有與隔腔連通的環形槽，位于所述筒體頂端的所述連接法蘭上開設有位于外周壁且與環形槽連通的復投進水口和復投出水口，位于所述筒體底端的所述連接法蘭上開設有下法蘭進水口和防爆口。