[實用新型]一種晶圓用定位裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220764442.3
• 申請日: 2022-04-02
• 公開（公告）號: CN217361537U
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陸姜鵬;肖治祥;朱濤
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州精瀨光電有限公司;武漢精測電子集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687;G01N21/95
• 代理公司: 江蘇坤象律師事務(wù)所 32393
• 代理人: 趙新民

1.一種晶圓用定位裝置，包括承載單元（1）、負壓單元和旋轉(zhuǎn)單元（2），所述負壓單元與外部真空設(shè)備相連；所述承載單元（1）包括基座（10）和安裝在所述基座（10）上的帶真空吸盤（12）的載臺，所述真空吸盤（12）與所述負壓單元相連用于吸附晶圓；所述載臺與所述基座（10）內(nèi)部的轉(zhuǎn)盤軸承（13）相連，所述旋轉(zhuǎn)單元（2）驅(qū)動所述載臺旋轉(zhuǎn)，其特征在于：所述承載單元（1）還包括安裝在所述載臺下方、所述轉(zhuǎn)盤軸承（13）中部的頂升機構(gòu)（14），所述載臺上形成有頂升通道（110），所述頂升通道（110）供所述頂升機構(gòu)（14）升降通過。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓用定位裝置，其特征在于：所述頂升機構(gòu)（14）包括第一驅(qū)動機構(gòu)（141）、固定板（142）和若干吸附導(dǎo)桿（143）；所述第一驅(qū)動機構(gòu)（141）安裝在所述載臺上，所述固定板（142）套設(shè)在所述第一驅(qū)動機構(gòu)（141）上，所述吸附導(dǎo)桿（143）安裝在所述固定板（142）上；所述吸附導(dǎo)桿（143）包括依次相連的吸嘴（143a）、中空桿體（143b）和導(dǎo)桿接頭（143c），所述導(dǎo)桿接頭（143c）與所述負壓單元相連；所述第一驅(qū)動機構(gòu)（141）驅(qū)動所述吸附導(dǎo)桿（143）在所述頂升通道（110）內(nèi)升降通過。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓用定位裝置，其特征在于：所述吸附導(dǎo)桿（143）共有三根，三根所述吸附導(dǎo)桿（143）的中心與所述載臺的中心重合；所述頂升通道（110）共有三條，與所述吸附導(dǎo)桿（143）對應(yīng)設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種晶圓用定位裝置，其特征在于：所述頂升通道（110）的中間段形成有向外凸出的限位空間（1100），所述吸附導(dǎo)桿（143）的中間段形成有向外凸出的限位件（1430），所述頂升機構(gòu)（14）升降時所述限位件（1430）在所述限位空間（1100）內(nèi)上下移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種晶圓用定位裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)盤軸承（13）的內(nèi)側(cè)設(shè)有若干導(dǎo)向槽（131），所述吸附導(dǎo)桿（143）的底部位于所述導(dǎo)向槽（131）內(nèi)，沿所述導(dǎo)向槽（131）進行升降。

6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種晶圓用定位裝置，其特征在于：所述負壓單元包括第一負壓組件和第二負壓組件；所述第一負壓組件與所述真空吸盤（12）上的真空腔體連通以提供負壓，所述第二負壓組件與所述導(dǎo)桿接頭（143c）連通以提供負壓。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓用定位裝置，其特征在于：所述真空吸盤（12）為多孔陶瓷吸盤，所述多孔陶瓷吸盤上形成通孔（1101），所述通孔（1101）作為所述頂升通道（110）的上段。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓用定位裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)單元（2）包括閉環(huán)步進電機（21）、滾珠絲桿副和傳動連接件（23），所述滾珠絲桿副的絲桿（221）與所述閉環(huán)步進電機（21）相連；所述傳動連接件（23）的第一端與所述滾珠絲桿副的螺母活動連接，第二端與所述載臺鎖固連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種晶圓用定位裝置，其特征在于：所述載臺包括固定相連的圓形旋轉(zhuǎn)平臺（111）和安裝平臺（112），所述旋轉(zhuǎn)平臺（111）與所述基座（10）相連，所述安裝平臺（112）用于安裝所述真空吸盤（12）；所述傳動連接件（23）的第二端固定在所述旋轉(zhuǎn)平臺（111）上。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的一種晶圓用定位裝置，其特征在于：所述滾珠絲桿副的螺母上安裝有傳動軸承（223），所述傳動連接件（23）的第一端與所述傳動軸承（223）相連。