[實用新型]鼓風式溫控手臂有效
| 申請號： | 202220762495.1 | 申請日： | 2022-04-02 |
| 公開（公告）號： | CN217543657U | 公開（公告）日： | 2022-10-04 |
| 發明（設計）人： | 吳雷雷;周一峰;吳長春 | 申請（專利權）人： | 上海昂瑞創新電子技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 梁棟國 |
| 地址： | 200131 上海市中國（上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鼓風 溫控 手臂 | ||
1.一種鼓風式溫控手臂，其特征在于，所述鼓風式溫控手臂包括：
底部手臂，用于支撐晶圓，
溫控單元，其被配置為將加熱的空氣提供到晶圓，以控制晶圓溫度的下降速度，以及
連接桿，將所述底部手臂與所述溫控單元耦合連接。
2.根據權利要求1所述的鼓風式溫控手臂，其特征在于，所述底部手臂包括陶瓷手臂、橡膠手臂或者金屬手臂中的任何一種。
3.根據權利要求1所述的鼓風式溫控手臂，其特征在于，所述晶圓包括鉭酸鋰晶圓。
4.根據權利要求1所述的鼓風式溫控手臂，其特征在于，所述溫控單元包括進風口、導流單元、加熱單元以及溫控單元外殼。
5.根據權利要求4所述的鼓風式溫控手臂，其特征在于，所述加熱單元包括圓柱體或者錐型加熱棒中的任何一種。
6.根據權利要求4所述的鼓風式溫控手臂，其特征在于，所述加熱單元被配置為溫度可控。
7.根據權利要求4所述的鼓風式溫控手臂，其特征在于，所述進風口包括N個進風口，以將壓縮空氣輸送到所述加熱單元，并且N為自然數。
8.根據權利要求4所述的鼓風式溫控手臂，其特征在于，所述導流單元包括旋轉扇葉，以將加熱的空氣輸送到所述晶圓。
9.根據權利要求4所述的鼓風式溫控手臂，其特征在于，所述溫控單元外殼的下表面具有開口，以將經過加熱的空氣輸送到所述晶圓。
10.根據權利要求1所述的鼓風式溫控手臂，其特征在于，所述溫控單元被配置為在熱板溫度和冷板溫度之間提供M個的溫度臺階，并且M為自然數。
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