[實用新型]一種靶材配件檢測裝置

有效

• 申請號: 202220751831.2
• 申請日: 2022-03-31
• 公開（公告）號: CN217384036U
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;邊逸軍;陳文慶
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: G01B5/00
• 分類號: G01B5/00;G01B5/18;G01N19/00
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 韓承志

本實用新型提供了一種靶材配件檢測裝置，所述靶材配件檢測裝置包括外觀檢具和內孔檢具，所述外觀檢具包括開設有檢測通孔的檢測塊；所述內孔檢具包括檢測臺以及設置于檢測臺上的至少一個檢測柱，所述檢測柱上開設有檢測孔；靶材嵌入檢測通孔內進行外觀檢測，再將套設有檢測塊的靶材放置于檢測臺上，靶材的內孔與檢測柱匹配對應，靶材的內孔中凸起插入所述檢測孔中。本實用新型通過設置外觀檢具和內孔檢具對靶材配件的外觀以及內孔進行檢測，僅通過將檢具與靶材配件相互嵌合，具有檢測效率高、檢測準確等特點。

技術領域

本實用新型屬于靶材檢測技術領域，涉及一種靶材配件檢測裝置。

背景技術

隨著半導體行業的快速發展，鍍膜材料作為半導體電子器件制造的重要材料，其需求量也日益增加，而鍍膜材料的主要制備方法為物理氣相沉積法，其重要的制備原料為靶材，因此靶材的高效利用是制備高性能薄膜材料的重要影響因素。

在半導體鍍膜生產過程中，為了提高鍍膜的均勻性，通常會使用一些環件結構來配合靶材一起使用，而環件結構的固定與安裝對靶材的后續使用具有重要的影響，需要采用相應的安裝配件將其固定；但目前使用的環件安裝結構受環件尺寸的影響較大，一旦環件尺寸變化，可能會造成環件與安裝結構本體不匹配，進而影響靶材環件的穩定性。

當配件尺寸不正確，則無法將產品正常應用于實際工藝中，產品的孔位尺寸正確與否關系產品的安裝問題，原有的檢測方法是使用三坐標測量機檢測孔位尺寸，三坐標測量是目前廣泛應用于機械制造行業和電子工業中的檢測和質量控制的方法，采用三坐標測量機檢測螺紋孔角度和孔為尺寸。但采用三坐標測量機檢測速度較慢，對于數量較多的產品的檢測，其工作效率較低。

CN108895963A公開了一種靶材定位裝置及三坐標定位設備。一種靶材定位裝置包括底座、第一定位組和激光器。底座被配置為固定在工作臺上；第一定位組均設置在底座遠離工作臺的一側；第一定位組包括兩個第一立柱，兩個第一立柱具備第一預設距離，兩個第一立柱均被配置為抵接在靶材的側邊；靶材的側面上設置有一個定位槽；激光器被配置為發出激光以照射到第一平面，第一平面與工作臺平行且穿過定位槽。

但是，目前三坐標檢測技術測量產品時，需要人為建立坐標系，存在檢測速度慢和效率低的問題，因此，如何提供一種靶材配件檢測裝置，滿足快速檢測的效果，成為目前迫切需要解決的技術問題。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種靶材配件檢測裝置，通過設置外觀檢具和內孔檢具對靶材配件的外觀以及內孔進行檢測，僅通過將檢具與靶材配件相互嵌合，具有檢測效率高、檢測準確等特點。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

本實用新型提供了一種靶材配件檢測裝置，所述靶材配件檢測裝置包括外觀檢具和內孔檢具，所述外觀檢具包括開設有檢測通孔的檢測塊。

所述內孔檢具包括檢測臺以及設置于檢測臺上的至少一個檢測柱，所述檢測柱上開設有檢測孔。

靶材嵌入檢測通孔內進行外觀檢測，再將套設有檢測塊的靶材放置于檢測臺上，靶材的內孔與檢測柱匹配對應，靶材的內孔中凸起插入所述檢測孔中。

本實用新型通過設置外觀檢具和內孔檢具，對靶材配件的外觀以及內孔情況進行檢測，檢測過程中，將靶材配件放置在外觀檢具內，觀察靶材配件的外觀匹配情況，進一步地，再將配置有外觀檢具的靶材配件放置到檢測臺的檢測柱上，觀察內孔的與檢測柱的嵌套情況，再結合外觀檢具進行觀察，保證靶材配件能夠與外觀檢具和內孔檢具嵌合穩定，從而實現快速檢測的目的，具有檢測效率高和準確度高等特點。

作為本實用新型的一個優選技術方案，所述靶材包括柱狀主體，所述柱狀主體包括頂蓋，所述柱狀主體沿中心軸線開設有內孔，所述內孔的內部設置有凸起。

作為本實用新型的一個優選技術方案，所述檢測柱在檢測臺上線性間隔排布。