[實用新型]一種具有冷卻功能的螺旋波等離子體源穩態放電裝置

有效

• 申請號: 202220748811.X
• 申請日: 2022-04-02
• 公開（公告）號: CN216894762U
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 盧智康;徐國盛;葉孜崇
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: F03H1/00
• 分類號: F03H1/00
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 李曉莉

1.一種具有冷卻功能的螺旋波等離子體源穩態放電裝置，其特征在于，包括冷卻腔體(1)和螺旋波等離子體源；

所述冷卻腔體(1)由首端面板(2)、首段腔體(3)、中段腔體(4)、尾段腔體(5)和尾端面板(6)依次密封連接而成；

所述螺旋波等離子體源，包括貫穿冷卻腔體(1)的放電室(7)，嵌套于中段腔體(4)內部和尾段腔體(5)內部的環形永磁鐵(11)，位于冷卻腔體(1)內部且環繞放電室(7)外壁的天線(12)和連通射頻電源與天線(12)且貫穿首端面板(2)的電極棒(8)；

冷卻液進口(2a)和冷卻液出口(2b)均設置在冷卻腔體(1)的首端面板(2)外表面，冷卻液進口(2a)和冷卻液出口(2b)均與冷卻腔體(1)連通。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述螺旋波等離子體源穩態放電裝置還包括腔體固定支撐結構；所述腔體固定支撐結構，包括支撐并固定冷卻腔體(1)的固定夾具(9)及支撐件(10)。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，包括首端面板(2)與首段腔體(3)連接處通過首段腔體密封凹槽和氟橡膠圈(3a)密封并用螺栓固定；首段腔體(3)與中段腔體(4)連接處通過中段腔體前密封凹槽和氟橡膠圈(4a)密封并用螺栓固定；中段腔體(4)與尾段腔體(5)連接處通過中段腔體后密封凹槽和氟橡膠圈(4b)密封并用螺栓固定；尾段腔體(5)與尾端面板(6)連接處通過尾段腔體密封凹槽和氟橡膠圈(5a)密封并用螺栓固定。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，放電室(7)與首端面板(2)連接處通過放電室首端密封凹槽和氟橡膠圈(7a1)密封并采用螺栓按壓放電室首端密封蓋(7a)固定；放電室(7)與尾端面板(6)連接處通過放電室尾端密封凹槽和氟橡膠圈(7b1)密封并采用螺栓按壓放電室尾端密封蓋(7b)固定。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，天線(12)的天線饋電端(12a)和電極棒(8)采用螺栓固定，天線接地端(12b)與中段腔體(4)內表面采用螺栓固定，且設置于中段腔體(4)外表面的腔體接地端(4c)通過螺栓與地線固定連接。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述電極棒(8)與首端面板(2)連接處采用兩層聚四氟乙烯絕緣層結合氟橡膠圈密封并通過螺栓按壓電極棒密封蓋固定。

7.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，支撐件(10)的弧形表面和固定夾具(9)的弧形表面與腔體外表面貼合，并采用螺栓與固定夾具上螺孔(9a)固定各段腔體；支撐件(10)與固定夾具(9)連接方式采用螺栓與固定夾具邊螺孔(9b)固定。