[實用新型]氣體檢測裝置

有效

• 申請號: 202220738838.0
• 申請日: 2022-03-31
• 公開（公告）號: CN217846054U
• 公開（公告）日: 2022-11-18
• 發明（設計）人: 曹斌斌
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25;G01N29/02
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 方世棟

1.一種氣體檢測裝置，其特征在于，包括：

基板(110、210)以及設置在所述基板(110、210)上的包覆體，所述包覆體與所述基板(110、210)共同形成測試腔(120、220)，所述測試腔(120、220)用于容納包含目標氣體成分的待測氣體；

光發射器(130、230)，所述光發射器(130、230)位于所述測試腔(120、220)內，用于發出調制光以觸發所述待測氣體產生壓力變化；

控制器(140、240)、第一傳感器和第二傳感器，所述第一傳感器用于感測所述待測氣體產生的所述壓力變化并生成對應的第一電信號，所述第二傳感器用于感測參考對象產生的壓力變化并生成對應的第二電信號，所述控制器(140、240)用于根據所述第一電信號和所述第二電信號的差分確定所述目標氣體成分的當前屬性。

2.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述參考對象是環境噪聲，所述第一傳感器位于所述測試腔(120、220)內，并且所述第二傳感器位于所述測試腔(120、220)之外，用于感測所述環境噪聲所產生的壓力變化。

3.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，包括設置在所述基板(110、210)上并且位于所述測試腔(120、220)內的透明罩(280)，用于容納用作所述參考對象的預設的參考氣體，所述第二傳感器位于所述透明罩(280)內，用于感測所述參考氣體所產生的壓力變化。

4.根據權利要求3所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述光發射器(130、230)所發出的調制光能夠穿過所述透明罩(280)以觸發所述參考氣體產生壓力變化。

5.根據權利要求2所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述第一傳感器是第一MEMS麥克風(150)，所述第二傳感器是第二MEMS麥克風(160)，所述第一MEMS麥克風(150)用于感測以聲波形式傳遞的所述待測氣體產生的壓力變化以及環境噪聲產生的壓力變化，所述第二MEMS麥克風(160)用于感測所述環境噪聲產生的壓力變化。

6.根據權利要求4所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述第一傳感器是第一MEMS麥克風(250)，所述第二傳感器是第二MEMS麥克風(260)，所述第一MEMS麥克風(250)用于感測以聲波形式傳遞的所述待測氣體產生的壓力變化以及環境噪聲產生的壓力變化，所述第二MEMS麥克風(260)用于感測以聲波形式傳遞的所述參考對象產生的壓力變化以及所述環境噪聲產生的壓力變化。

7.根據權利要求1-6中任一項所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述光發射器(130、230)是紅外發射器。

8.根據權利要求7所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述目標氣體成分的所述當前屬性是所述目標氣體成分的當前濃度。

9.根據權利要求3所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述參考氣體包含標準濃度的所述目標氣體成分。

10.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述測試腔(120、220)是金屬外殼。

11.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述測試腔(120、220)上設置有用于與外部環境交換氣體的氣體滲透孔(1201、2201)。

12.根據權利要求11所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述氣體滲透孔(1201、2201)上設置有氣體滲透膜(1202、2202)。

13.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述基板(110、210)上設置有與所述控制器(140、240)電連接的電子元件(170、270)。