[實用新型]一種碳化硅加熱爐降溫裝置

有效

• 申請號: 202220733890.7
• 申請日: 2022-03-31
• 公開（公告）號: CN217032053U
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 陳智
• 申請（專利權）人: 新疆鑫能天源碳化硅有限公司
• 主分類號: F27D9/00
• 分類號: F27D9/00;C01B32/956
• 代理公司: 北京眾允專利代理有限公司 11803
• 代理人: 張爭艷

本實用新型公開了一種碳化硅加熱爐降溫裝置，包括氣管（1），氣管（1）的內部設置有U型冷卻管（3），氣管（1）的表面均勻布置有排氣孔（7），氣管（1）的底端設置有氣源連接閥（2）；本實用新型通過設計表面均勻排布氣孔的排氣管，增大了加熱爐內氣體擴散面積，同時在氣管內加裝可循環冷卻水的冷卻管，使氣體能夠進一步冷卻，能夠有效的降低碳化硅爐體中心位置的溫度，增大了加熱爐內的降溫速率。

技術領域

本實用新型涉及碳化硅加熱爐輔助設備領域，特別涉及一種碳化硅加熱爐降溫裝置。

背景技術

目前碳化硅的生產都會采用加熱爐結晶的方法來進行，電熱爐通過爐芯表面傳給爐料，使之逐漸加熱，達到反應溫度進行反應。

由于碳化硅的反應溫度非常高，所以需要考慮反應完成后的降溫問題，自然降溫過于漫長，而現有的碳化硅加熱爐降溫是通過在碳化硅爐外表面布置冷卻水循環來實現，但是由于爐體過大，會導致內部降溫不均勻，爐體中心位置降溫會比較慢，從而導致降溫速率的降低。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供一種能夠均勻排氣實現降溫的碳化硅加熱爐降溫裝置。

為解決上述問題，本實用新型通過以下方案實現：

一種碳化硅加熱爐降溫裝置，包括氣管，氣管的內部設置有U型冷卻管，氣管的表面均勻布置有排氣孔，氣管的底端設置有氣源連接閥。

進一步地，所述冷卻管與氣管之間設置有用于固定冷卻管的固定件。

進一步地，所述氣管的外表面上端設置支腿。

進一步地，所述支腿與氣管之間通過軸承連接，支腿可收縮于氣管的兩側，也可打開與氣管呈90°起支撐作用。

進一步地，所述冷卻管的端部位于氣管的外側，端部連接有冷卻水循環機。

本實用新型通過設計表面均勻排布氣孔的排氣管，增大了加熱爐內氣體擴散面積，同時在氣管內加裝可循環冷卻水的冷卻管，使氣體能夠進一步冷卻，能夠有效的降低碳化硅爐體中心位置的溫度，增大了加熱爐內的降溫速率。

附圖說明

下面通過附圖和具體實施案例對本實用新型進一步說明。

圖1為本實用新型使用示意圖

圖2為本實用新型結構示意圖

圖3為氣管局部示意圖

圖中：1-氣管、2-氣源連接閥、3-冷卻管、4-固定件、5-支腿、6-冷卻水循環機、7-排氣孔。

具體實施方式

如圖1、圖2、圖3所示的一種碳化硅加熱爐降溫裝置，包括氣管1，氣管1的表面上均勻的設置若干用來通氣的排氣孔7，在氣管的內部設置有U型冷卻管3，冷卻管3的端部穿出氣管1，端部位于氣管1的外側，端部連接有冷卻水循環機6，冷卻水循環機6為冷卻管3提供冷卻循環水，冷卻管3為氣管內提供充足的冷空氣，在氣管1內部的冷卻管3的中部位置設有固定件4，固定件4將冷卻管3固定在氣管1的管壁上，防止冷卻管3因為氣體造成大幅的晃動。

所述氣管1外表面的上端中心對稱的設有若干支腿5，支腿5可以在氣管1伸入加熱爐內時起支撐作用，防止氣管與爐內的物料接觸。

所述支腿5與氣管之間通過軸承連接，支腿5可收縮于氣管1的兩側，也可打開與氣管呈90°起支撐作用。

所述氣管1外表面的下端對稱設置有氣源連接閥2，氣源連接閥2外接壓縮空氣機為管內提供充足的氣體，使氣管能夠對加熱爐內進行吹掃降溫。