[實用新型]特氣分流箱的供氣管路及特氣分流箱

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220692307.2
• 申請日: 2022-03-28
• 公開（公告）號: CN217082192U
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱學(xué)明;陳偉才
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽壹月科技有限公司
• 主分類號: F17D1/04
• 分類號: F17D1/04;F17D3/01
• 代理公司: 合肥匯融專利代理有限公司 34141
• 代理人: 汪姍姍

本實用新型公開了一種特氣分流箱的供氣管路及特氣分流箱。包括主進(jìn)氣口、進(jìn)氣閥門、支路進(jìn)口閥門、減壓閥門、支路出口閥門和主排氣口，主進(jìn)氣口位于特氣分流箱的上方安裝，主進(jìn)氣口連通進(jìn)氣閥門，進(jìn)氣閥門連通支路進(jìn)口閥門，支路進(jìn)口閥門連通減壓閥門，減壓閥門連通支路出口閥門，支路出口閥門連通主排氣口，主排氣口位于特氣分流箱的下方安裝。本實用新型能夠解決現(xiàn)有微電子、半導(dǎo)體實驗室特氣分流箱存在的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及特氣分流箱技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種特氣分流箱的供氣管路及特氣分流箱。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的微電子、半導(dǎo)體實驗室特氣分流箱VMB的主管跟支路都是采用上進(jìn)上出模式，在實際運(yùn)用中，有些客戶工藝制程機(jī)臺特氣接口在機(jī)臺的下方，制程區(qū)域有高架地板，出于美觀和方便維護(hù)考慮，從特氣分流盤到制程機(jī)臺的管道從高架地板下面走，造成管道長度的增加，成本的增加。

該裝置存在以下問題：1)從特氣分流箱VMB到制程機(jī)臺的管道需要從上方拐彎反向到高架地板下面，增加了施工難度；2)增加了管道長度；3)增加了成本(材料與人工等)；4)布局較不美觀。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型公開一種特氣分流箱的供氣管路及特氣分流箱，能夠解決現(xiàn)有微電子、半導(dǎo)體實驗室特氣分流箱存在的問題。

為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：

特氣分流箱的供氣管路，包括主進(jìn)氣口、進(jìn)氣閥門、支路進(jìn)口閥門、減壓閥門、支路出口閥門和主排氣口，主進(jìn)氣口位于特氣分流箱的上方安裝，主進(jìn)氣口連通進(jìn)氣閥門，進(jìn)氣閥門連通支路進(jìn)口閥門，支路進(jìn)口閥門連通減壓閥門，減壓閥門連通支路出口閥門，支路出口閥門連通主排氣口，主排氣口位于特氣分流箱的下方安裝。

優(yōu)選的技術(shù)方案，還包括吹掃進(jìn)氣閥門、單向閥和吹掃出氣閥門，吹掃進(jìn)氣閥門連通單向閥，單向閥連通吹掃出氣閥門，吹掃出氣閥門連通減壓閥門的進(jìn)氣端。容易理解的，借助吹掃進(jìn)氣閥門、單向閥和吹掃出氣閥門的配合使用，可以解決如何實現(xiàn)供氣管路的吹掃作業(yè)的問題，有利于提高吹掃模塊的吹掃效果。

進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案，還包括吹掃進(jìn)氣口，吹掃進(jìn)氣口位于特氣分流箱的上方安裝，吹掃進(jìn)氣口連通吹掃進(jìn)氣閥門。容易理解的，借助吹掃進(jìn)氣口的使用，可以解決如何從特氣分流箱的上方進(jìn)氣的問題，有利于提高吹掃模塊的安裝的便利性。

優(yōu)選的技術(shù)方案，還包括文丘里氮氣進(jìn)氣閥門、文丘里單向閥、真空發(fā)生器和文丘里排氣閥，文丘里氮氣進(jìn)氣閥門連通文丘里單向閥，文丘里單向閥連通真空發(fā)生器，真空發(fā)生器連通文丘里排氣閥，文丘里排氣閥連通支路出口閥門的進(jìn)氣端。容易理解的，借助文丘里氮氣進(jìn)氣閥門、文丘里單向閥、真空發(fā)生器和文丘里排氣閥的配合使用，可以解決如何實現(xiàn)供氣管路的抽真空作業(yè)的問題，有利于提高抽真空模塊的抽真空效果。

進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案，還包括抽真空進(jìn)氣口和抽真空排氣口，抽真空進(jìn)氣口和抽真空排氣口均位于特氣分流箱的上方安裝，抽真空進(jìn)氣口連通文丘里氮氣進(jìn)氣閥門，文丘里排氣閥連通抽真空排氣口。容易理解的，借助抽真空進(jìn)氣口和抽真空排氣口的使用，可以解決如何從特氣分流箱的上方進(jìn)氣和排氣的問題，有利于提高抽真空模塊的安裝的便利性。

另外，本實用新型還公開了特氣分流箱，包括特氣分流箱的供氣管路，所述特氣分流箱的供氣管路為上述技術(shù)方案任意一項所述的特氣分流箱的供氣管路。

本實用新型公開一種特氣分流箱的供氣管路及特氣分流箱，具有以下優(yōu)點：

采用上進(jìn)下出的方式，主管路從上邊進(jìn)氣，支路從下邊出氣，針對于二次配管道走高架地板的方式，支路管道出來直接豎直就可以進(jìn)到高架地板下面，美觀且節(jié)省二次配材料。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。