[實用新型]一種二維材料生長設備

有效

• 申請號: 202220677700.4
• 申請日: 2022-03-24
• 公開（公告）號: CN217499494U
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 李佳君;叢靖昆;皮孝東;楊德仁
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: C30B25/10
• 分類號: C30B25/10;C30B25/12;C30B25/14;C30B25/16;C30B29/46;C30B29/02;C23C16/46;C23C16/458;C23C16/455;C23C16/448;C23C16/52;C23C16/30;C23C16/26
• 代理公司: 杭州五洲普華專利代理事務所(特殊普通合伙) 33260
• 代理人: 姚宇吉

1.一種二維材料生長設備，包括生長腔體，生長腔體外側設有加熱裝置，生長腔體連接有出氣管，其特征在于：還包括樣品臺、若干前驅體組件，前驅體組件包括前驅體管腔、進氣管，前驅體管腔外側設有前驅體加熱裝置，前驅體管腔與生長腔體、進氣管相連，前驅體管腔內放置有石英舟，各前驅體組件中石英舟裝填的前驅體不同，所述樣品臺設置在生長腔體內并沿生長腔體內部軸向移動，樣品臺安裝有加熱器和生長襯底，加熱器用于調節生長襯底和生長腔體之間的溫度差。

2.如權利要求1所述的二維材料生長設備，其特征在于：所述生長腔體的一端設有第一密封法蘭，所述第一密封法蘭中部配合安裝有樣品桿，樣品桿沿第一密封法蘭軸向移動，樣品桿的一端伸入生長腔體內并與樣品臺相連，所述出氣管的一端穿過第一密封法蘭與生長腔體相連通。

3.如權利要求1所述的二維材料生長設備，其特征在于：所述前驅體組件的數量為3，且分別為第一前驅體組件、第二前驅體組件、第三前驅體組件，第一前驅體組件、第二前驅體組件、第三前驅體組件并排設置，第一前驅體組件、第二前驅體組件、第三前驅體組件中石英舟裝填的前驅體分別為硫粉、氧化鉬粉、氧化鎢粉。

4.如權利要求3所述的二維材料生長設備，其特征在于：所述第一前驅體組件、第二前驅體組件、第三前驅體組件上的進氣管分別與保護氣體氣源或含碳氣體氣源相連。

5.如權利要求4所述的二維材料生長設備，其特征在于：所述保護氣體氣源提供的保護氣體包括高純氬氣，所述含碳氣體氣源提供的含碳氣體包括甲烷。

6.如權利要求1所述的二維材料生長設備，其特征在于：各所述前驅體管腔遠離生長腔體的一端均安裝有第二密封法蘭，所述進氣管的一端穿過第二密封法蘭與前驅體管腔相連通，進氣管設有進氣閥。

7.如權利要求1所述的二維材料生長設備，其特征在于：所述進氣管設有流量計。

8.如權利要求1所述的二維材料生長設備，其特征在于：所述出氣管設有氣壓計，出氣管與真空機組相連。

9.如權利要求8所述的二維材料生長設備，其特征在于：所述出氣管設有三通閥，三通閥位于氣壓計和真空機組之間，三通閥與尾氣處理裝置相連。

10.如權利要求1至9中任一項所述的二維材料生長設備，其特征在于：所述生長腔體設有低溫區和高溫區，高溫區為相對加熱裝置的生長腔體內部區域。