[實(shí)用新型]一種硅片清洗用雙層石英槽

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220672255.2
• 申請(qǐng)日: 2022-03-25
• 公開（公告）號(hào): CN216988912U
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 連云港取道石英制品有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/10
• 分類號(hào): B08B3/10;B08B3/14;B08B13/00
• 代理公司: 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32330
• 代理人: 徐小琴

1.一種硅片清洗用雙層石英槽，包括：石英槽本體(1)，所述石英槽本體(1)的內(nèi)部設(shè)置有若干個(gè)放置桿組成的放置架(2)，其特征在于，所述放置架(2)的上端一側(cè)設(shè)置有提升機(jī)構(gòu)(3)，所述放置架(2)通過(guò)提升機(jī)構(gòu)(3)在石英槽本體(1)內(nèi)部豎向移動(dòng)；

所述提升機(jī)構(gòu)(3)包括橫桿(31)，所述橫桿(31)通過(guò)底端兩側(cè)的連桿固定連接于放置架(2)的上端一側(cè)，所述橫桿(31)的端部固定連接有豎桿(32)，所述豎桿(32)由橫桿(31)的端部延伸至石英槽本體(1)的外壁中部，所述石英槽本體(1)相對(duì)豎桿(32)開設(shè)有豎槽(33)，所述豎桿(32)的下端通過(guò)連接塊滑動(dòng)連接于豎槽(33)內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于，所述石英槽本體(1)的內(nèi)部且位于放置架(2)的下方設(shè)置有濾板(4)，所述濾板(4)的上端兩側(cè)中部通過(guò)短桿固定連接于放置架(2)的底端兩側(cè)，所述濾板(4)的側(cè)面貼合石英槽本體(1)的內(nèi)壁。

3.如權(quán)利要求2所述的一種硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于，所述濾板(4)的正面截面為弧形，所述濾板(4)的底端開設(shè)有若干個(gè)均勻分布的濾孔(41)，所述濾板(4)的底端與石英槽本體(1)的內(nèi)部底壁之間形成排水腔(6)。

4.如權(quán)利要求3所述的一種硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于，所述石英槽本體(1)的一側(cè)下部側(cè)壁上相對(duì)排水腔(6)開設(shè)有出水口(5)，所述出水口(5)為長(zhǎng)條型，所述出水口(5)內(nèi)嵌合有橡膠塞。

5.如權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于，所述豎槽(33)的底壁上固定連接有彈簧(34)，所述彈簧(34)的上端通過(guò)連接塊固定連接于豎桿(32)的下端。