[實(shí)用新型]晶圓自動(dòng)涂源裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220661569.2
• 申請(qǐng)日: 2022-03-25
• 公開（公告）號(hào): CN217190503U
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟恒;劉君;夏祥軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東晶導(dǎo)微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B05C1/02
• 分類號(hào): B05C1/02;B05C11/10;B05C13/02;H01L21/67
• 代理公司: 濟(jì)寧匯景知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 37254
• 代理人: 茍莎

本實(shí)用新型涉及一種晶圓自動(dòng)涂源裝置，屬于晶圓涂源領(lǐng)域，包括機(jī)架及用于固定晶圓片的晶圓放置盤，晶圓放置盤在工作狀態(tài)下呈旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，其特征在于，還包括水平滑軌，水平移動(dòng)支架與水平滑軌以滑動(dòng)方式相連；頂升機(jī)構(gòu)、毛筆連接架、執(zhí)筆夾、毛筆、試劑瓶，毛筆與執(zhí)筆夾固定相連，其前端為刷頭；及輸送管，其與毛筆連接架固定相連，輸送管的一端深入試劑瓶內(nèi)，輸送管的另一端伸入毛筆的刷頭中并與刷頭保持相對(duì)固定；本實(shí)用新型無需蘸取動(dòng)作即可保證毛筆刷頭上源液的穩(wěn)定供給，且避免了擺臂的動(dòng)作，避免擺臂導(dǎo)致的甩濺等現(xiàn)象。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓涂源技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓自動(dòng)涂源裝置。

背景技術(shù)

隨著電子產(chǎn)品的不斷發(fā)展，對(duì)芯片的要求也越來越高。隨著芯片的大規(guī)模生產(chǎn)，磷液、金液的涂源需要通過手動(dòng)涂源來進(jìn)行，而手動(dòng)涂源機(jī)不僅僅需要人力，而且耗電量、源用量的消耗頗高，生產(chǎn)效率低下。

現(xiàn)有技術(shù)，申請(qǐng)?zhí)枮?021109415734的實(shí)用新型專利公開了一種涂源機(jī)，在PP碗形防護(hù)罩內(nèi)設(shè)置用于吸附連接產(chǎn)品主體的旋轉(zhuǎn)吸盤，PP碗形防護(hù)罩外側(cè)設(shè)置溶劑瓶并配以磁力攪拌，產(chǎn)品主體的涂覆機(jī)構(gòu)采用一擺臂端部設(shè)執(zhí)筆傾斜氣缸，執(zhí)筆傾斜氣缸一側(cè)表面固定安裝毛筆固定座，將毛筆固定在毛筆固定座上，用于對(duì)連接在旋轉(zhuǎn)吸盤上的硅片進(jìn)行涂源。使用時(shí)，擺臂帶動(dòng)毛筆蘸取溶劑瓶內(nèi)的源液然后配合吸盤的旋轉(zhuǎn)以及執(zhí)筆傾斜氣缸的傾斜和豎直兩種狀態(tài)的切換來完成涂源操作。這種結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，尤其是需要擺臂來回?cái)[動(dòng)來蘸取和涂源，而且蘸取的過程源液的量也不好控制，容易造成源液隨擺臂甩出的現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種晶圓自動(dòng)涂源裝置，無需蘸取動(dòng)作即可保證毛筆刷頭上源液的穩(wěn)定供給，且避免了擺臂的動(dòng)作，避免擺臂導(dǎo)致的甩濺等現(xiàn)象。

本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下：晶圓自動(dòng)涂源裝置，包括機(jī)架及用于固定晶圓片的晶圓放置盤，晶圓放置盤在工作狀態(tài)下呈旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，其特征在于，還包括

水平滑軌，與機(jī)架固定相連，其方向平行于晶圓片的半徑方向；

水平移動(dòng)支架，與水平滑軌以滑動(dòng)方式相連；

頂升機(jī)構(gòu)，與水平移動(dòng)支架固定相連；

毛筆連接架，與頂升機(jī)構(gòu)相連，并能夠在頂升機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下上下運(yùn)動(dòng)；

執(zhí)筆夾，與毛筆連接架固定相連；

毛筆，與執(zhí)筆夾固定相連，其前端為刷頭；

試劑瓶，設(shè)置在晶圓放置盤的一側(cè)；

及輸送管，其與毛筆連接架固定相連，輸送管的一端深入試劑瓶內(nèi)，輸送管的另一端伸入毛筆的刷頭中并與刷頭保持相對(duì)固定。

進(jìn)一步的，晶圓放置盤外部設(shè)置有防護(hù)罩。

進(jìn)一步的，試劑瓶放置在一磁力攪拌器上。

進(jìn)一步的，輸送管通過一剛性金屬條與毛筆連接架相連。

更進(jìn)一步的，金屬條與毛筆連接架固定相連，金屬條的端部延伸至靠近毛筆刷頭的位置，輸送管與金屬條固定相連。

進(jìn)一步的，所述頂升機(jī)構(gòu)采用頂升氣缸，其伸縮端與毛筆連接架固定相連。

本實(shí)用新型的有益效果是：

1.本實(shí)用新型通過設(shè)置的水平滑軌、水平移動(dòng)支架、頂升機(jī)構(gòu)、毛筆連接架、毛筆、與毛筆刷頭相連的輸送管以及與輸送管相連通的試劑瓶，能夠使毛筆的刷頭上始終浸有源液，并隨水平移動(dòng)支架的水平運(yùn)動(dòng)完成毛筆在晶圓片表面的涂源操作，且無需擺臂結(jié)構(gòu)，有效防止擺臂動(dòng)作導(dǎo)致的源液甩濺；