[實用新型]一種晶棒升降定位對中裝置

有效

• 申請號: 202220660260.1
• 申請日: 2022-03-22
• 公開（公告）號: CN217579148U
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發明（設計）人: 李大偉;韓榮賓;趙朋占;許建虹;楊佳寶
• 申請（專利權）人: 天津市環智新能源技術有限公司
• 主分類號: C30B33/06
• 分類號: C30B33/06
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種晶棒升降定位對中裝置，包括：

支撐架，在所述支撐架上設置有第一承載臺以及高于所述第一承載臺的第二承載臺；

工裝定位系統，設置在所述第一承載臺、所述第二承載臺以及所述支撐架上，用于定位所述工裝，其中，所述工裝包括料框、設置在所述料框中的料座以及粘接在所述料座表面的晶棒；

晶棒下壓系統，設置在所述支撐架的頂部，用于下壓所述晶棒；

頂升系統，安裝在所述支撐架的底部，可將所述工裝從所述第一承載臺頂升至所述第二承載臺。

2.根據權利要求1所述的一種晶棒升降定位對中裝置，其特征在于：所述第一承載臺上設有一供所述工裝通過的第一通孔，所述第二承載臺上設有一供所述工裝通過的第二通孔；所述頂升系統通過所述第一通孔和所述第二通孔，將所述工裝從所述第一承載臺頂升至所述第二承載臺。

3.根據權利要求1所述的一種晶棒升降定位對中裝置，其特征在于：所述工裝定位系統包括晶棒定位系統，所述晶棒定位系統包括設置在所述第二承載臺一側的晶棒側定位氣缸以及設置在所述第二承載臺另一側的晶棒夾緊氣缸，所述晶棒側定位氣缸定位所述晶棒的一側，所述晶棒夾緊氣缸配合所述晶棒側定位氣缸對中所述晶棒。

4.根據權利要求3所述的一種晶棒升降定位對中裝置，其特征在于：所述晶棒定位系統還包括設置在靠近所述第二承載臺的支撐架一側的晶棒電動定位氣缸，所述晶棒電動定位氣缸不與所述晶棒側定位氣缸同側，配合所述晶棒夾緊氣缸和所述晶棒側定位氣缸對中所述晶棒。

5.根據權利要求1-4任一所述的一種晶棒升降定位對中裝置，其特征在于：所述工裝定位系統還包括料框定位系統，所述料框定位系統包括所述第一承載臺一側的料框定位氣缸以及設置在所述第一承載臺另一側的料框夾緊氣缸，所述料框定位氣缸定位所述料框，所述料框夾緊氣缸配合所述料框定位氣缸對中所述料框。

6.根據權利要求1-4任一所述的一種晶棒升降定位對中裝置，其特征在于：所述工裝定位系統還包括料座定位系統，所述料座定位系統包括設置在所述第二承載臺一側的料座定位氣缸以及設置在所述第二承載臺另一側的料座夾緊氣缸，所述料座定位氣缸定位所述料座的一側，所述料座夾緊氣缸配合所述料座定位氣缸對中所述料座。

7.根據權利要求1所述的一種晶棒升降定位對中裝置，其特征在于：所述晶棒下壓系統包括設置在所述支撐架頂部的晶棒下壓氣缸，可對所述晶棒施加壓力，使其與所述料座粘接牢固。

8.根據權利要求7所述的一種晶棒升降定位對中裝置，其特征在于：所述晶棒下壓氣缸的兩側還設有一直線軸承，均勻壓力，配合所述晶棒下壓氣缸對所述晶棒施加壓力。

9.根據權利要求1所述的一種晶棒升降定位對中裝置，其特征在于：所述升降定位對中裝置還包括設置在所述第二承載臺一側的料框推出氣缸，當所述工裝對中完畢后，所述料框推出氣缸可將所述工裝移動至下一工序位置。

10.根據權利要求1所述的一種晶棒升降定位對中裝置，其特征在于：所述升降定位對中裝置還包括設置在所述支撐架頂部一側的滑板以及與滑板連接的滑板上升氣缸，所述滑板上升氣缸用于控制所述滑板移動，進而控制所述工裝是否移動至下一工序；當所述滑板遮擋所述工裝的一側時，所述工裝靜止，當所述滑板移動至不遮擋所述工裝的一側時，所述工裝通過設置在所述第二承載臺一側的料框推出氣缸移動至下一工序位置。