[實用新型]芯片清潔裝置及芯片清潔設備

有效

• 申請號: 202220620065.6
• 申請日: 2022-03-21
• 公開（公告）號: CN217289438U
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發明（設計）人: 楊建設;張雅凱;繆凱
• 申請（專利權）人: 昆山思特威集成電路有限公司
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 徐漢華

1.一種芯片清潔裝置，其特征在于：包括：

傳輸機構，用于傳送裝載有芯片的料盤；

放料機構，所述放料機構設于所述傳輸機構上方，用于向所述傳輸機構的方向釋放并收卷無塵布；以及，

擦拭機構，用于帶動所述放料機構釋放的所述無塵布抵接并擦拭所述傳輸機構傳送的所述料盤上的所述芯片，所述擦拭機構包括：

抵壓件，用于抵壓所述無塵布接觸所述芯片；

升降座，用于支撐所述抵壓件；以及，

升降驅動組件，用于驅動所述升降座帶動所述抵壓件沿靠近或遠離所述芯片的方向升降移動。

2.如權利要求1所述的芯片清潔裝置，其特征在于：所述擦拭機構還包括用于向所述抵壓件上噴灑酒精的酒精噴灑組件，所述酒精噴灑組件安裝于所述升降座上，所述抵壓件具有酒精滲透特性。

3.如權利要求2所述的芯片清潔裝置，其特征在于：所述酒精噴灑組件包括用于盛裝酒精的容置桶及置于所述容置桶朝向所述抵壓件的一端并與所述容置桶連通的噴管，所述噴管朝向所述抵壓件的一面開設有多個噴灑孔。

4.如權利要求3所述的芯片清潔裝置，其特征在于：所述抵壓件遠離所述噴管的一側表面為朝向所述料盤方向凸起的圓弧面。

5.如權利要求4所述的芯片清潔裝置，其特征在于：所述升降座對應所述噴灑孔的區域上開設有開口，所述抵壓件置于所述開口中，且所述抵壓件的相對兩端設有支桿，所述抵壓件的相對兩端分別通過所述支桿與所述升降座相連。

6.如權利要求5所述的芯片清潔裝置，其特征在于：所述抵壓件呈圓柱狀且設置有沿其延伸方向貫穿本體的中心通孔，所述支桿為穿設于所述抵壓件的中心通孔的圓軸。

7.如權利要求5所述的芯片清潔裝置，其特征在于：所述升降座與所述抵壓件相連的相對兩端沿豎直方向均開設有長條孔，兩個所述支桿呈棱柱狀，兩個所述支桿的其中一端分別置于對應的所述長條孔中，兩個所述長條孔中均安裝有向下彈性推頂所述支桿的彈性件。

8.如權利要求7所述的芯片清潔裝置，其特征在于：所述抵壓件靠近所述噴管的一側表面開設有凹槽。

9.如權利要求1所述的芯片清潔裝置，其特征在于：沿所述傳輸機構傳送所述料盤的方向上，所述升降座的相對兩側分別設有防塵擋板；所述放料機構位于兩個所述防塵擋板之間。

10.如權利要求1-9任一項所述的芯片清潔裝置，其特征在于：所述芯片清潔裝置還包括用于推動所述擦拭機構往復移動擦拭所述芯片的擦拭驅動機構，所述擦拭機構及所述放料機構安裝于所述擦拭驅動機構上。

11.一種芯片清潔設備，其特征在于：包括至少一個如權利要求1-10任一項所述芯片清潔裝置。