[實用新型]一種用于調節半導體閥門位置的夾具

有效

• 申請號: 202220605340.7
• 申請日: 2022-03-18
• 公開（公告）號: CN218052455U
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 禹哲明
• 申請（專利權）人: 蘇州澳科泰克半導體技術有限公司
• 主分類號: B25B27/26
• 分類號: B25B27/26
• 代理公司: 蘇州中合知識產權代理事務所(普通合伙) 32266
• 代理人: 趙曉芳

1.一種用于調節半導體閥門位置的夾具，其特征在于：包括連接體(1)，所述連接體(1)包括固定塊(2)與卡接組件(3)，所述卡接組件(3)設置在固定塊(2)外側壁上，所述卡接組件(3)用于包裹真空閥門外側壁，所述固定塊(2)的底壁用于抵接真空閥門頂部，所述固定塊(2)底部中心出設置有讓位凹槽(4)；

所述卡接組件(3)包括固定卡接塊(31)與調節卡接塊(32)，所述固定卡接塊(31)與調節卡接塊(32)的底部均設有卡爪(33)，所述調節卡接塊(32)的側壁上設有調節螺桿(321)，所述固定塊(2)的側壁上設有供調節螺桿(321)穿設的調節螺孔(322)，所述調節螺桿(321)上設有螺紋連接的調節螺母(323)；

所述讓位凹槽(4)用于包裹真空閥門頂部數據線。

2.根據權利要求1所述的一種用于調節半導體閥門位置的夾具，其特征在于：所述調節卡接塊(32)上設有調節件(34)，所述調節件(34)包括套設在調節螺桿(321)上的調節彈簧(341)，所述調節螺孔(322)設置為階梯狀，所述調節螺孔(322)包括調節孔(36)與固定孔(37)，所述調節彈簧(341)設置的調節孔(36)內。

3.根據權利要求2所述的一種用于調節半導體閥門位置的夾具，其特征在于：所述調節件(34)還包括設置在調節卡接塊(32)側壁上的調節塊(342)，所述調節塊(342)穿設在調節螺桿(321)上，所述調節塊(342)上設有供調節螺桿(321)穿設的安裝孔(343)。

4.根據權利要求3所述的一種用于調節半導體閥門位置的夾具，其特征在于：所述調節塊(342)的側壁上還有橡膠層(344)。

5.根據權利要求1所述的一種用于調節半導體閥門位置的夾具，其特征在于：所述卡爪(33)上用于夾持真空閥門的一側設有保護墊(331)。

6.根據權利要求1所述的一種用于調節半導體閥門位置的夾具，其特征在于：所述讓位凹槽(4)包括設置在固定塊(2)中心軸處的圓形凹槽(41)，還包括連通圓形凹槽(41)的直線凹槽(42)。

7.根據權利要求1所述的一種用于調節半導體閥門位置的夾具，其特征在于：所述連接體(1)的外周側設置有均勻分布的定位凹槽(5)，所述定位凹槽(5)用于拆卸底部真空閥門。

8.根據權利要求7所述的一種用于調節半導體閥門位置的夾具，其特征在于：所述連接體(1)的底部設置有緩沖橡膠墊(11)。