[實用新型]一種球形旋轉等離子體源裝置

有效

• 申請號: 202220577404.7
• 申請日: 2022-03-16
• 公開（公告）號: CN217789954U
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 慈連鰲
• 申請（專利權）人: 沈陽騰鰲真空技術有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;F16F15/02;F16F15/04
• 代理公司: 遼寧中科品創專利代理事務所(普通合伙) 21261
• 代理人: 肖月華

1.一種球形旋轉等離子體源裝置，其特征在于，所述球形旋轉等離子體源裝置包括：

臺架；

分子泵，所述分子泵固定在所述臺架的底部；

抽氣機，所述抽氣機的輸入端與所述分子泵的輸出端相連通；

抽氣管道，兩個所述抽氣管道的一端同時與所述抽氣機的輸出端相連通，且所述抽氣管道的另一端穿過所述臺架的頂部；

連通管道，兩個所述連通管道的一端分別與兩個所述抽氣管道的另一端相連通，且所述連通管道與所述抽氣管道相垂直；

球形腔體，所述球形腔體的前端設置有接口，所述球形腔體的兩端分別與兩個所述連通管道的另一端相連通；

探針組件，所述探針組件固定在所述球形腔體上，所述探針組件穿過所述接口，且所述探針組件嵌入所述球形腔體內；

支撐架，所述支撐架固定在所述臺架上，且所述支撐架位于所述球形腔體的下方；

磁場線圈，兩個所述磁場線圈固定在所述支撐架上，且兩個所述磁場線圈分別繞設在兩個所述連通管道的外側；

支撐座，所述支撐座固定在所述支撐架上；

支撐桿，所述支撐桿的一端與所述支撐座相連接；

減震墊，所述減震墊為彈性體，所述減震墊與所述支撐桿的另一端相連接，且所述減震墊與所述球形腔體的底部相貼合。

2.根據權利要求1所述的一種球形旋轉等離子體源裝置，其特征在于，所述球形旋轉等離子體源裝置還包括：

固定架，所述固定架呈L形，所述固定架與所述臺架的底部相連接，且所述固定架的一邊位于所述抽氣管道的下方；

固定卡箍，所述固定卡箍固定在所述固定架上，且所述固定卡箍繞設在所述抽氣管道的外側。

3.根據權利要求2所述的一種球形旋轉等離子體源裝置，其特征在于，所述球形旋轉等離子體源裝置還包括：

夾板，所述夾板的一端設置有凹槽，兩個所述夾板位于所述抽氣管道的外側，且所述抽氣管道同時嵌入兩個所述夾板的凹槽內；

螺紋桿，所述螺紋桿的外壁上設置有第一外螺紋，至少四個所述螺紋桿依次穿過所述臺架和所述夾板；

第一固定螺母，所述第一固定螺母內設置有第一內螺紋，兩個所述第一固定螺母套設在所述螺紋桿的外側，且兩個所述第一固定螺母分別與所述臺架的頂壁的兩側相貼合；

第二固定螺母，所述第二固定螺母內設置有第一內螺紋，兩個所述第二固定螺母套設在所述螺紋桿的外側，且兩個所述第二固定螺母分別與所述夾板的兩側相貼合；

其中，所述第一外螺紋與所述第一內螺紋相適配。

4.根據權利要求3所述的一種球形旋轉等離子體源裝置，其特征在于，所述球形旋轉等離子體源裝置還包括：

讓位孔，所述讓位孔設置在所述臺架的頂部，且所述讓位孔繞設在所述抽氣管道的外側。

5.根據權利要求1所述的一種球形旋轉等離子體源裝置，其特征在于，所述球形旋轉等離子體源裝置還包括：

固定板，所述固定板與所述臺架的底部相連接；

固定桿，至少四個所述固定桿的一端與所述固定板相連接，且至少四個所述固定桿的另一端與所述分子泵相連接。

6.根據權利要求5所述的一種球形旋轉等離子體源裝置，其特征在于，所述球形旋轉等離子體源裝置還包括：

地腳座，所述地腳座的頂部設置有螺紋孔，所述螺紋孔內設置有第二內螺紋，四個所述地腳座位于所述臺架的下方；

調節桿，所述調節桿的外壁設置有第二外螺紋，所述調節桿的一端與所述臺架的底部相連接，且所述調節桿的另一端嵌入所述地腳座的螺紋孔內；

其中，所述第二內螺紋與所述第二外螺紋相適配。

7.根據權利要求6所述的一種球形旋轉等離子體源裝置，其特征在于：

所述球形腔體為石英體；

所述連通管道為石英體。