[實用新型]一種用于高溫條件下腐蝕測試磷化銦晶片的裝置

有效

• 申請號: 202220553810.X
• 申請日: 2022-03-15
• 公開（公告）號: CN217084612U
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 黃燕;徐榮榮;戰澤瑞;蒙奎芝;戰澤興
• 申請（專利權）人: 山東歐思特新材料科技有限公司
• 主分類號: G01N17/00
• 分類號: G01N17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及磷化銦晶片技術領域，尤其涉及一種用于高溫條件下腐蝕測試磷化銦晶片的裝置。其技術方案包括：安裝板、安裝箱與支撐架，安裝板的頂部活動安裝有加熱箱，安裝板的底部滑動安裝有與加熱箱對應的安裝箱，安裝箱的內部通過夾持板限位固定有與加熱箱對應的加熱器，夾持板的外側通過連接桿固定安裝有握把，安裝箱的外側固定安裝有與連接桿配合的固定塊，連接桿的外側套有彈簧。本實用新型通過設置有夾持板、固定塊與連接桿之間的相互配合，利用連接桿的將夾持板之間相互靠近，可以較為方便的通過防護墊將加熱器限位固定在安裝箱的內部，能夠有效的將加熱器進行安裝和更換，增加實用性，降低了工作人員的工作效率。

技術領域

本實用新型涉及磷化銦晶片技術領域，具體為一種用于高溫條件下腐蝕測試磷化銦晶片的裝置。

背景技術

磷化銦是一種重要的半導體材料，在5G通信時代，磷化銦材料的性能相較于其它的半導體材料更好，擁有廣闊的發展前景。磷化銦晶片由晶棒加工而成，在切割晶棒的過程中，線鋸對于晶圓表面具有損害性，晶片切割之后，晶片的厚度需要進行研磨工藝處理，將晶片的厚度研磨至所需要的晶片厚度，晶片進行研磨后需要對表面進行腐蝕處理，保持增加晶片表面的光潔度與平整度，因此需要使用到用于高溫條件下腐蝕測試磷化銦晶片的裝置。

經檢索，專利公告號為CN212648204U公開一種磷化銦晶片退火裝置，該實用新型公開了一種磷化銦晶片退火裝置，包括柱狀罐體、密封蓋和晶片臺；柱狀罐體、密封蓋和晶片臺所用材質均為石英；柱狀罐體的頂部由密封蓋密封；柱狀罐體內側壁上設有沿周邊設置的支撐凸塊，晶片臺周邊設有支撐耳，晶片臺通過支撐耳水平放置在柱狀罐體內的支撐凸塊上；晶片臺上表面設有一個以上的弧形凹坑，每個弧形凹坑均沿周邊設有環形支撐臺階，環形支撐臺階上設有沿寬度方向設置的通槽。

現有的用于高溫條件下腐蝕測試磷化銦晶片的裝置存在的缺陷是：

1、現有的用于高溫條件下腐蝕測試磷化銦晶片的裝置在使用的過程中，由于在對磷化銦晶片進行加熱的過程中加熱器不能夠穩定的放置在內部，使在進行使用的過程中不方便進行固定，降低了便捷性，大大影響工作人員的工作效率；

2、一般的用于高溫條件下腐蝕測試磷化銦晶片的裝置缺少取出結構，在進行使用的過程中，加熱裝置內部的加熱器長時間的加熱需要更換燃料，在取出時不方便降低了實用性，為此我們提出一種用于高溫條件下腐蝕測試磷化銦晶片的裝置來解決現有的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于高溫條件下腐蝕測試磷化銦晶片的裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于高溫條件下腐蝕測試磷化銦晶片的裝置，包括安裝板、安裝箱與支撐架，所述安裝板的頂部活動安裝有加熱箱，所述安裝板的底部滑動安裝有與加熱箱對應的安裝箱，所述安裝箱的內部通過夾持板限位固定有與加熱箱對應的加熱器，所述夾持板的外側通過連接桿固定安裝有握把，所述安裝箱的外側固定安裝有與連接桿配合的固定塊，所述連接桿的外側套有彈簧，所述安裝箱的底部固定安裝有支撐架，所述支撐架的頂部固定安裝有安裝塊，所述安裝塊的內部活動安裝有下壓塊，所述安裝箱內部滑動安裝有與加熱器配合的擠出板，所述擠出板的底部固定安裝有擠出桿。

利用連接桿的將夾持板之間相互靠近，可以較為方便的通過防護墊將加熱器限位固定在安裝箱的內部，能夠有效的將加熱器進行安裝和更換，增加實用性，降低了工作人員的工作效率。

優選的，所述安裝板與加熱箱之間通過安裝臺活動安裝，且安裝板的底部固定安裝有支撐柱。使本裝置在進行使用的過程中更加穩定，防止在進行使用時產生偏移。

優選的，所述安裝箱與安裝板之間通過滑槽滑動安裝，且安裝箱的兩側固定安裝有與滑槽配合的滑塊。通過滑塊與滑槽之間進行滑動，使安裝箱的頂部能夠與加熱箱的底部進行對接。