[實用新型]一種用于磷化銦晶片生產(chǎn)的邊形觀察設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220553728.7
• 申請日: 2022-03-15
• 公開（公告）號: CN217084702U
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王嘉偉;喻會平;戰(zhàn)澤興;黃飛;徐榮榮
• 申請（專利權(quán)）人: 山東歐思特新材料科技有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N21/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于磷化銦晶片生產(chǎn)的邊形觀察設(shè)備，包括第一支撐板(1)、工作臺(5)和第二支撐板(6)，其特征在于：所述工作臺(5)的頂部分別固定安裝有第一支撐板(1)與第二支撐板(6)，所述一支撐板(1)位于第二支撐板(6)的后端所述第一支撐板(1)的內(nèi)側(cè)滑動安裝有第一滑動板(3)，所述第一滑動板(3)的底部定安裝有第一電機(8)，所述第一支撐板(1)之間固定安裝有固定板(10)，所述第一電機(8)的輸出端固定安裝有吸盤(801)，所述第一支撐板(1)的外側(cè)固定安裝有第二電機(9)，所述第一支撐板(1)的前端與后端皆活動安裝有探照燈(2)，所述第二支撐板(6)的內(nèi)側(cè)滑動安裝有第二滑動板(602)，所述第二滑動板(602)的頂部活動安裝有電子顯微鏡(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于磷化銦晶片生產(chǎn)的邊形觀察設(shè)備，其特征在于：所述第一滑動板(3)與第一支撐板(1)之間通過第一滑動槽(101)滑動安裝，第二電機(9)的輸出端與第一滑動板(3)之間通過螺紋轉(zhuǎn)桿(901)活動安裝。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于磷化銦晶片生產(chǎn)的邊形觀察設(shè)備，其特征在于：所述固定板(10)的底部固定安裝有與吸盤(801)對應(yīng)的清理槽(1001)，且清理槽(1001)的內(nèi)部黏貼有清理布(1002)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于磷化銦晶片生產(chǎn)的邊形觀察設(shè)備，其特征在于：所述探照燈(2)與第一支撐板(1)之間通過第一活動座(401)活動安裝，且第一活動座(401)與第一支撐板(1)之間通過第一固定座(4)活動安裝。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于磷化銦晶片生產(chǎn)的邊形觀察設(shè)備，其特征在于：所述第二支撐板(6)與第二滑動板(602)之間通過第二滑動槽(601)滑動安裝，工作臺(5)的底部固定安裝有支撐腿(501)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于磷化銦晶片生產(chǎn)的邊形觀察設(shè)備，其特征在于：所述電子顯微鏡(7)與第二滑動板(602)之間通過第二活動座(604)活動安裝，且第二活動座(604)與第二滑動板(602)之間通過第二固定座(603)活動安裝。