[實用新型]熱沉材料熔滲工裝

有效

• 申請號: 202220546976.9
• 申請日: 2022-03-14
• 公開（公告）號: CN216938425U
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發明（設計）人: 張雙寧;周俊;姚歡
• 申請（專利權）人: 長沙升華微電子材料有限公司
• 主分類號: B22F3/26
• 分類號: B22F3/26;B22F3/00
• 代理公司: 長沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 張勇

本實用新型提供了一種熱沉材料熔滲工裝，包括：石墨舟，所述石墨舟為容器結構，所述石墨舟的頂部設置開口，所述石墨舟的內腔底面用于放置銅片，所述銅片的上方用于放置骨架；通氣板，所述通氣板用于疊放在所述骨架上，所述通氣板上均勻地設置有多個通氣孔，所述通氣孔貫通地開設在所述通氣板上。本實用新型在熔滲過程中能夠令骨架內的空氣充分排出，使骨架的未填充率下降，產品更加致密；通氣板疊設在銅片和骨架之上，減少了骨架與銅片之間的相對滑動，減少了因石墨舟的運動導致骨架從銅片上滑落令銅液無法滲入骨架的問題，產品的導熱、導電性能及力學性能均能滿足需求。

技術領域

本實用新型涉及熱沉材料技術領域，特別涉及一種熱沉材料熔滲工裝。

背景技術

鎢銅和鉬銅材料廣泛應用于航天航空、汽車、電子封裝、機械制造等領域。隨著技術的發展，市場上對于熱沉產品致密度要求越來越高。目前鎢銅和鉬銅材料制備的常用生產方法是熔滲法，即通過用熔點比制品熔點低的金屬或合金在熔融狀態下充填未燒結的或燒結的制品內的孔隙的工藝方法。在熱沉材料技術領域中，通過將銅片與鎢骨/鉬骨架接觸，裝舟后裝入加熱爐中進行高溫處理。這種方法具有工藝簡單，成本較低，產量大的優點，但使用普通石墨舟進行熔滲處理時，生產出的鎢銅和鉬銅材料致密度不高。

為了追求更好的熔滲效果，通常熔滲時的溫度控制高于銅的熔點數百攝氏度且會使用過量的銅。但在這種較高的溫度下，銅會快速熔化并覆蓋在粉末骨架表面。銅的覆蓋會導致骨架內殘留的氣體無法充分從骨架內脫出，鎢/鉬銅合金致密度下降，這會導致材料的導熱、導電性能下降，材料的力學性能降低。

實用新型內容

本實用新型提供了一種熱沉材料熔滲工裝，其目的是為了解決現有熔滲加工過程中存在骨架內殘留氣體影響材料性能的問題。

為了達到上述目的，本實用新型的實施例提供了一種熱沉材料熔滲工裝，包括：

石墨舟，所述石墨舟為容器結構，所述石墨舟的頂部設置開口，所述石墨舟的內腔底面用于放置銅片，所述銅片的上方用于放置骨架；

通氣板，所述通氣板用于疊放在所述骨架上，所述通氣板上均勻地設置有多個通氣孔，所述通氣孔貫通地開設在所述通氣板上。

其中，所述通氣板的材質與銅的濕潤角大于90°。

其中，所述通氣板的材質為石墨。

其中，所述通氣孔為圓形孔。

其中，所述通氣孔的孔徑為0.5mm-5mm。

其中，相鄰所述通氣孔之間的圓心距為2.5mm-25mm。

其中，所述骨架為鎢骨架或鉬骨架。

本實用新型的上述方案有如下的有益效果：

本實用新型的上述實施例所述的熱沉材料熔滲工裝設置有石墨舟和通氣板，熔滲過程中能夠令骨架內的空氣充分排出，使骨架的未填充率下降，產品更加致密；通氣板疊設在銅片和骨架之上，減少了骨架與銅片之間的相對滑動，減少了因石墨舟的運動導致骨架從銅片上滑落令銅液無法滲入骨架的問題。

附圖說明

圖1是本實用新型的熱沉材料熔滲工裝的裝配剖面示意圖；

圖2是本實用新型的熱沉材料熔滲工裝的裝配俯視示意圖；

圖3是本實用新型的熱沉材料熔滲工裝的骨架及銅片擺放示意圖；

圖4是本實用新型的熱沉材料熔滲工裝的石墨舟俯視示意圖；

圖5是本實用新型的熱沉材料熔滲工裝的石墨舟剖面示意圖；

圖6是本實用新型的熱沉材料熔滲工裝的通氣板俯視示意圖；

圖7是本實用新型的熱沉材料熔滲工裝的通氣板剖面示意圖。