[實用新型]一種適用于半導體黃光烘烤光刻膠的烤箱托盤

有效

• 申請號: 202220545791.6
• 申請日: 2022-03-14
• 公開（公告）號: CN217289132U
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發明（設計）人: 周小琳
• 申請（專利權）人: 蘇州金琳芯半導體科技有限公司
• 主分類號: B05D3/02
• 分類號: B05D3/02;H01L21/673
• 代理公司: 南京文宸知識產權代理有限公司 32500
• 代理人: 林有娣

1.一種適用于半導體黃光烘烤光刻膠的烤箱托盤，包括盤體(1)，其特征在于：所述盤體(1)的底部安裝有主動輪(2)，所述盤體(1)的底部卡接有螺桿(3)，所述螺桿(3)的底部固定連接有從動輪(4)，所述螺桿(3)的頂部螺紋連接有頂架(5)，所述頂架(5)的頂部固定連接有內頂柱(6)，所述內頂柱(6)的內部滑動連接有傳動桿(7)，所述傳動桿(7)通過拉力彈簧(8)與所述內頂柱(6)的內壁相連接，所述內頂柱(6)的外側套接有外頂環(9)，所述外頂環(9)的內部開設有插孔(10)，所述插孔(10)的內壁固定連接有電磁鐵(11)。

2.根據權利要求1所述的一種適用于半導體黃光烘烤光刻膠的烤箱托盤，其特征在于：所述螺桿(3)、從動輪(4)、頂架(5)與內頂柱(6)不少于八組且均勻分布在盤體(1)四周。

3.根據權利要求2所述的一種適用于半導體黃光烘烤光刻膠的烤箱托盤，其特征在于：所述從動輪(4)中的其中一組通過鏈條與所述主動輪(2)傳動連接，其與從動輪(4)均通過鏈條相互傳動連接。

4.根據權利要求1所述的一種適用于半導體黃光烘烤光刻膠的烤箱托盤，其特征在于：所述頂架(5)滑動連接在盤體(1)的底部。

5.根據權利要求1所述的一種適用于半導體黃光烘烤光刻膠的烤箱托盤，其特征在于：所述外頂環(9)不少于兩組，且多組外頂環(9)依次套接。

6.根據權利要求1所述的一種適用于半導體黃光烘烤光刻膠的烤箱托盤，其特征在于：所述插孔(10)的軸線與所述傳動桿(7)的軸線處于同一水平線，且插孔(10)的半徑略大于傳動桿(7)的半徑。

7.根據權利要求1所述的一種適用于半導體黃光烘烤光刻膠的烤箱托盤，其特征在于：所述外頂環(9)的底部連接有復位彈簧，且復位彈簧的另一端與所述盤體(1)相連接。