[實用新型]一種高精度滲透標準氣體發生裝置

有效

• 申請號: 202220541526.0
• 申請日: 2022-03-14
• 公開（公告）號: CN216935942U
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發明（設計）人: 董春清
• 申請（專利權）人: 清鑫（天津）環?？萍加邢薰?/a>
• 主分類號: B01J7/02
• 分類號: B01J7/02
• 代理公司: 天津萬信開元專利代理事務所(普通合伙) 12262
• 代理人: 楊娥

1.一種高精度滲透標準氣體發生裝置，包括滲透氣體入口（1），其特征在于：所述滲透氣體入口（1）一側設置有三通閥門（2），所述三通閥門（2）一側設置有加濕流量控制閥（3），加濕三通閥門（4），所述加濕三通閥門（4）一側設置有加濕裝置（5），所述加濕三通閥門（4）一側連接有稀釋氣體流量控制器（6），所述三通閥門（2）另一側設置有滲透載氣溫控制裝置（7），所述滲透載氣溫控制裝置（7）一側設置有滲透室（8），所述滲透室（8）內側設置有滲透管（9），所述滲透室（8）一側設置有混合倉（10），所述滲透室（8）另一側設置有滲透流量控制器（11），所述混合倉（10）一側設置有氣體出口（12）。

2.根據權利要求1所述的一種高精度滲透標準氣體發生裝置，其特征在于：所述滲透載氣溫控制裝置（7）內部設置滲透載氣溫控制倉（701），所述滲透載氣溫控制倉（701）內側設置有第一溫度感應器（702），所述滲透載氣溫控制倉（701）數量設置有三組。

3.根據權利要求1所述的一種高精度滲透標準氣體發生裝置，其特征在于：所述加濕裝置（5）一側設置有進氣管道（501），所述進氣管道（501）一側設置有曝氣裝置（502），所述加濕裝置（5）內部頂端設置有出氣管道（503），所述出氣管道（503）一端設置有過濾網（504），所述加濕裝置（5）內部設置有恒溫加熱水箱（505），所述恒溫加熱水箱（505）內部設置有第二溫度感應器（506），所述恒溫加熱水箱（505）內部設置有去離子水（507）。

4.根據權利要求1所述的一種高精度滲透標準氣體發生裝置，其特征在于：所述滲透管（9）內部設置有恒溫加熱裝置（901）。

5.根據權利要求1所述的一種高精度滲透標準氣體發生裝置，其特征在于：所述滲透室（8）、混合倉（10）、加濕裝置（5）的內部均為惰性表面。

6.根據權利要求1所述的一種高精度滲透標準氣體發生裝置，其特征在于：所述加濕裝置（5）與滲透室（8）一側均設置有加熱裝置（13），所述加熱裝置（13）高于加濕裝置（5）和滲透室（8）。