[實用新型]一種用于機臺中孔口的偵測系統

有效

• 申請號: 202220536556.2
• 申請日: 2022-03-10
• 公開（公告）號: CN217008009U
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 衛立
• 申請（專利權）人: 和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: G05B19/042
• 分類號: G05B19/042
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 劉小峰;宋薇薇

本實用新型涉及一種用于機臺中孔口的偵測系統，包括機臺處理器；鼓風機；DVU，其與機臺處理器通信；門部件，其通過DVU打開；孔口閥，其通過氣管與CDA進氣口連接并且孔口閥的開關受到CDA壓力的控制；PVU，其與機臺處理器通信且與氣管連接并配置為關閉通往孔口閥的CDA以使CDA的壓力為零，以使孔口閥常開；偵測裝置，其配置為接收門部件的打開信號并對CDA進行偵測，當在應該使CDA的壓力為零的情況下偵測到CDA存在壓力并且壓力超過預設閾值時斷開鼓風機以使機臺宕機。本實用新型可以在機臺的PVU板異常時對通往孔口閥的CDA進行偵測，并由此在偵測到CDA異常時及時發出警報并使機臺宕機，從而保護晶圓產品。

技術領域

本實用新型涉及偵測系統，并且更具體地，涉及一種用于機臺中孔口的偵測系統。

背景技術

HJTC RTP-53機臺往往因為PVU(pneumatic valve unit，氣動閥單元板)異常，會導致腔室內氧氣含量超標造成晶圓產率低。在檢查時發現PVU板異常(控制通往孔口閥的CDA(clean dry air，清潔干燥空氣)的電磁閥元件未正常打開，長時間頻繁切換，造成失效)，進而導致孔口閥無法正常打開，腔室內氧氣含量超標，導致產品出現晶邊顏色異常。HJTC RTP-53機臺的孔口后方無MFC(質量流量計)控制流量，只能靠PVU電磁閥控制氣動閥開關孔口，因此若PVU控制孔口這一路電磁閥失效，則會直接導致腔室氧氣超標，造成產品異常，并且由于缺少偵測影響范圍廣，損失較大。

因此，一種用于機臺中孔口的偵測系統是令人期望的。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型的目的在于提供一種用于機臺中孔口的偵測系統。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用以下技術方案：

根據本實用新型的方面，提供一種用于機臺中孔口的偵測系統，包括：

機臺處理器；

鼓風機；

門閥單元DVU，該DVU為與機臺處理器通信；

門部件，該門部件通過DVU打開；

孔口閥，該孔口閥通過氣管與清潔干燥空氣CDA的進氣口連接并且該孔口閥的打開和關閉受到CDA壓力的控制；

氣動閥單元PVU，該PVU與機臺處理器通信并且與氣管連接，PVU被配置為關閉通往孔口閥的所述CDA以使CDA的壓力為零，從而使孔口閥常開；以及

偵測裝置，該偵測裝置被配置為接收門部件的打開信號并對CDA進行偵測，當在應該使CDA的壓力為零的情況下偵測到CDA存在壓力并且CDA的壓力超過預設閾值時發出警報并斷開鼓風機以使機臺宕機。

在本實用新型的一個實施例中，偵測系統還包括：

壓力計，該壓力計串入連接到孔口閥連接的氣管并且用于監測氣管內的CDA的壓力。

在本實用新型的一個實施例中，偵測裝置包括控制器和面板，控制器被配置為接收門部件的打開信號且接收壓力計監測的CDA的壓力的信號，控制器與面板交互信息，面板與鼓風機通信并在CDA的壓力超過預設閾值時斷開鼓風機而造成機臺宕機。

在本實用新型的一個實施例中，當孔口閥常開時流出N₂并通過N₂清除晶圓所在腔室內的O₂。

在本實用新型的一個實施例中，DVU的內部設置有電磁閥。

在本實用新型的一個實施例中，PVU的內部設置有電磁閥。

在本實用新型的一個實施例中，孔口閥在CDA的壓力不為零時關閉。

在本實用新型的一個實施例中，預設閾值至少為5PSI。