[實用新型]一種硅料水爆設備

有效

• 申請號: 202220526489.6
• 申請日: 2022-03-11
• 公開（公告）號: CN217725796U
• 公開（公告）日: 2022-11-04
• 發明（設計）人: 譚夏智;張喆;彭序言;向陽
• 申請（專利權）人: 湖南微朗科技有限公司
• 主分類號: B02C19/18
• 分類號: B02C19/18;B02C23/00
• 代理公司: 長沙朕揚知識產權代理事務所(普通合伙) 43213
• 代理人: 包雨函

本實用新型公開了一種硅料水爆設備，包括水箱，水箱包括外箱體和收集箱，二者的頂部均設有允許硅料進出的開口，所述收集箱套接在外箱體的內部，且能沿豎直方向從外箱體的頂部開口脫離外箱體，收集箱的底面均勻排布有透水孔。本實用新型的硅料水爆設備具有結構簡單、清理簡便、自動化程度高和工作效果好等優點。

技術領域

本實用新型涉及半導體材料制備技術領域，尤其涉及一種硅料水爆設備。

背景技術

硅料升溫之后，進行水爆的過程中會產生一定的碎料以及粉塵，現有的處理方式一般是人工進行清理，但是粉塵碎料會沉積在水爆用水中，清理起來非常繁瑣，耗時較長，不僅需要耗費大量的人力，還會拖慢設備的使用效率。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種結構簡單、清理簡便、自動化程度高和工作效果好的硅料水爆設備。

為解決上述技術問題，本實用新型提出的技術方案為：

一種硅料水爆設備，包括水箱，水箱包括外箱體和收集箱，二者的頂部均設有允許硅料進出的開口，所述收集箱套接在外箱體的內部，且能沿豎直方向從外箱體的頂部開口脫離外箱體，收集箱的底面均勻排布有透水孔。

作為上述技術方案的進一步改進：

所述外箱體的底部設有排水通道，頂部設有進水通道，排水通道連通至進水通道上，且二者的連接管段上設有過濾器。

硅料水爆設備還包括行架以及沿行架運動的機械手，所述行架位于水箱的上方，行架上供機械手運動的范圍覆蓋水箱以及硅料進入水箱前的升溫設備。

所述行架整體為覆蓋水箱以及升溫設備的框架結構，框架結構上設有兩條平行相對布置的第一軌道，行架還包括第二軌道，所述第二軌道與第一軌道垂直，且兩端分別沿第一軌道滑動，所述機械手滑設于第二軌道上。

所述機械手包括可伸縮的臂桿、連接板和多個爪桿，臂桿一端滑設在行架上，另一端固定于連接板上，多個所述爪桿分別設置在連接板相對的兩側邊處，且相對的爪桿的底端設有相向翻折的勾合部。

所述爪桿與連接板通過驅動件連接，驅動件驅動相對的爪桿相向或反向移動。

所述機械手上還設有與儲水設備或水箱連通的噴淋管。

硅料水爆設備還包括至少一端處于機械手運動范圍內的輸送裝置，所述輸送裝置的布置方向平行于水箱和升溫設備的連線。

所述輸送裝置的表面設有多個平行且均勻排布的輸送輥，輸送裝置還包括能正轉和反轉驅動輸送輥的驅動電機。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于：

本實用新型的硅料水爆設備，包括用于對硅料進行水爆的水箱，水箱包括外箱體和收集箱，二者的頂部均設有允許硅料進出的開口，硅料加熱完成后通過頂部開口下降進入水箱內進行水爆完成后再從頂部開口提升出水箱。其中收集箱套接在外箱體的內部，且能沿豎直方向從外箱體的頂部開口脫離外箱體，收集箱的底面均勻排布有透水孔，在進行水爆的過程中，收集箱和外箱體套接在一起，二者的內容區域重合，水會從透水孔進入收集箱內部區域，水爆在此區域內完成，經過水爆后的殘料顆粒等會留存在該區域中，收集箱從外箱體頂部開口脫離時，水從透水孔流出，殘料顆粒便能夠由收集箱濾除，不僅方便進行回收，還便于清理，大大降低了人力勞動強度，可以采用自動化器械完成，加快了設備工作效率。

附圖說明

圖1是本實用新型的硅料水爆設備中水箱的結構示意圖；

圖2是本實用新型的硅料水爆設備抓取硅料的示意圖；

圖3是本實用新型的硅料水爆設備的俯視圖；

圖4是本實用新型的硅料水爆設備的側視圖；