[實用新型]一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用出料裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220498475.8
• 申請日: 2022-03-07
• 公開（公告）號: CN217093402U
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 童晨;吳海燕;韓成強;孫元;陳桂紅
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山晶科微電子材料有限公司
• 主分類號: B01J4/00
• 分類號: B01J4/00;B01D29/96;B01D29/03;B01D29/52
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用出料裝置，其特征在于，包括生產(chǎn)裝置、分管器A、分管器B、中轉(zhuǎn)箱和數(shù)個過濾箱，所述生產(chǎn)裝置的排料口通過分管器A與數(shù)個過濾箱分別連接，且數(shù)個過濾箱與分管器A的連接處均設(shè)置有手控閥；所述過濾箱的寬度方向一側(cè)表面設(shè)置有框架口，所述框架口的內(nèi)部兩側(cè)均設(shè)置有L形搭接塊，且兩個L形搭接塊上可伸縮固定有抽屜式過濾網(wǎng)板；

數(shù)個過濾箱的通過分管器B與中轉(zhuǎn)箱連接，所述中轉(zhuǎn)箱的底部連接有出料管路，且所述出料管路上設(shè)置有定量控制閥。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用出料裝置，其特征在于，所述過濾網(wǎng)板的寬度方向一側(cè)設(shè)置有與框架口大小相適配的密封擋板，且所述密封擋板上設(shè)置有把手。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用出料裝置，其特征在于，所述密封擋板的背側(cè)邊沿均貼附有一層密封橡膠。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用出料裝置，其特征在于，所述抽屜式過濾網(wǎng)板的寬度方向另一側(cè)設(shè)置有螺孔，所述過濾箱的寬度方向一側(cè)配合設(shè)置有螺栓，在對抽屜式網(wǎng)板進行固定時，所述螺栓擰入抽屜式過濾網(wǎng)板的螺孔中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用出料裝置，其特征在于，所述分管器A和分管器B均為三通式分管器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用出料裝置，其特征在于，所述過濾箱的一側(cè)設(shè)置有玻璃材質(zhì)制成的觀察窗，且所述觀察窗的位置與抽屜式過濾網(wǎng)板相對應(yīng)。