[實用新型]一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用定量供料裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202220496801.1 | 申請日： | 2022-03-07 |
| 公開（公告）號： | CN217093336U | 公開（公告）日： | 2022-08-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 童晨;吳海燕;韓成強;孫元;陳桂紅 | 申請（專利權(quán)）人： | 昆山晶科微電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B01F35/71 | 分類號： | B01F35/71;B01F35/83;B01F35/12;B01F101/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 半導(dǎo)體 洗劑 生產(chǎn) 定量 供料 裝置 | ||
1.一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用定量供料裝置，其特征在于，包括底座、拼接式儲箱、升降式刮料機構(gòu)和抽吸進料機構(gòu)；
所述拼接式儲箱包括上箱體和下箱體，所述下箱體設(shè)置在底座上表面，且所述上箱體和下箱體可拆卸安裝在一起，且所述上箱體的頂部設(shè)置有投料口，所述下箱體的底部設(shè)置有排料口；
所述升降式刮料機構(gòu)包括升降驅(qū)動裝置、驅(qū)動軸和刮板，所述升降驅(qū)動裝置設(shè)置在上下箱體的頂部中心，且所述驅(qū)動軸的一端與升降驅(qū)動裝置的驅(qū)動端連接，另一端伸進上箱體內(nèi)部與刮板連接；
所述抽吸進料機構(gòu)包括負壓抽吸泵和負壓管，所述負壓抽吸泵設(shè)置在底座的底部下方，所述負壓管的一端與下箱體的排料口連接，另一端與穿過底座與負壓抽吸泵的抽吸端連接，且所述負壓管與負壓抽吸泵的連接處安裝有計量控制閥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用定量供料裝置，其特征在于，所述上箱體的底部四周成型有插接塊，所述下箱體的頂部四周成型有插接槽，在上箱體和下箱體進行組裝時，所述插接塊可插接在插接槽中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用定量供料裝置，其特征在于，所述上箱體的下部四周和下箱體的上部四周均設(shè)置有耳孔，且所述上箱體上的耳孔和下箱體上的耳孔可通過螺栓固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用定量供料裝置，其特征在于，所述刮板與驅(qū)動軸之間斜向連接有若干個加強柱。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體清洗劑生產(chǎn)用定量供料裝置，其特征在于，所述升降驅(qū)動裝置為驅(qū)動液壓缸。
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