[實(shí)用新型]一種用于IC測試的便捷式按壓止轉(zhuǎn)吸桿有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202220491992.2 | 申請(qǐng)日: | 2022-03-09 |
| 公開(公告)號(hào): | CN217468339U | 公開(公告)日: | 2022-09-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 蔣黃俊;張少軍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳市卓精微智能機(jī)器人設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/66 | 分類號(hào): | H01L21/66;H01L21/683 |
| 代理公司: | 深圳市徽正知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44405 | 代理人: | 汪棟 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 ic 測試 便捷 按壓 止轉(zhuǎn)吸桿 | ||
本實(shí)用新型涉及芯片加工裝置技術(shù)領(lǐng)域,具體指一種用于IC測試的便捷式按壓止轉(zhuǎn)吸桿;包括套筒吸桿和活動(dòng)吸桿,所述活動(dòng)吸桿的后端可活動(dòng)地穿設(shè)于套筒吸桿的前端口內(nèi),活動(dòng)吸桿與套筒吸桿之間設(shè)有彈簧,所述活動(dòng)吸桿與套筒吸桿之間設(shè)有鎖止裝置;本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理,所述活動(dòng)吸桿通過鎖定螺栓安裝在套筒吸桿上,鎖定螺栓與導(dǎo)向槽配合控制了活動(dòng)吸桿的行程范圍,且可防止活動(dòng)吸桿在套筒吸桿上自轉(zhuǎn),可根據(jù)按壓測試所需壓力進(jìn)行彈簧更換,拆裝方便、使用靈活。成本較低。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及芯片加工裝置技術(shù)領(lǐng)域,具體指一種用于IC測試的便捷式按壓止轉(zhuǎn)吸桿。
背景技術(shù)
IC芯片的燒錄、封裝加工流程中,需要進(jìn)行通電、按壓等多個(gè)測試環(huán)節(jié),對(duì)產(chǎn)品的參數(shù)進(jìn)行檢測以提高產(chǎn)品的合格率。在目前的IC芯片加工流水線中,芯片的抓取方式主要采用真空吸附裝置,即機(jī)械臂通過吸嘴的真空吸嘴吸取芯片。這種真空吸嘴與機(jī)械臂之間設(shè)有彈性元件以起到緩沖作用,這就導(dǎo)致機(jī)械臂與芯片之間產(chǎn)生的按壓力度不夠,且由于吸嘴與機(jī)械臂之間拆裝困難,難以滿足多種規(guī)格芯片的按壓測試需求。因此,現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷和不足,提供一種結(jié)構(gòu)合理、用于IC測試的便捷式按壓止轉(zhuǎn)吸桿。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
本實(shí)用新型所述的一種用于IC測試的便捷式按壓止轉(zhuǎn)吸桿,包括套筒吸桿和活動(dòng)吸桿,所述活動(dòng)吸桿的后端可活動(dòng)地穿設(shè)于套筒吸桿的前端口內(nèi),活動(dòng)吸桿與套筒吸桿之間設(shè)有彈簧,所述活動(dòng)吸桿與套筒吸桿之間設(shè)有鎖止裝置。
根據(jù)以上方案,所述鎖止裝置包括導(dǎo)向槽和鎖定螺栓,套筒吸桿前端的側(cè)壁上設(shè)有螺紋通孔,螺紋通孔上設(shè)有與其螺接的鎖定螺栓;所述活動(dòng)吸桿的外側(cè)壁上開設(shè)有導(dǎo)向槽,活動(dòng)吸桿的后端穿設(shè)于套筒吸桿的前端口內(nèi)從而使鎖定螺栓的里端可活動(dòng)地穿設(shè)于導(dǎo)向槽內(nèi)。
根據(jù)以上方案,所述套筒吸桿的前端設(shè)有強(qiáng)化滑套,螺紋通孔開設(shè)于強(qiáng)化滑套上,活動(dòng)吸桿的后端穿過強(qiáng)化滑套并可活動(dòng)地設(shè)置在套筒吸桿內(nèi)。
根據(jù)以上方案,所述活動(dòng)吸桿的前端設(shè)有定位環(huán)臺(tái),彈簧套裝在活動(dòng)吸桿上,彈簧的兩端分別抵觸連接在強(qiáng)化滑套和定位環(huán)臺(tái)上。
根據(jù)以上方案,所述套筒吸桿的后端口內(nèi)設(shè)有束口環(huán),束口環(huán)的口徑小于套筒吸桿的內(nèi)徑,活動(dòng)吸桿的內(nèi)徑小于束口環(huán)的內(nèi)徑。
本實(shí)用新型有益效果為:本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理,所述活動(dòng)吸桿通過鎖定螺栓安裝在套筒吸桿上,鎖定螺栓與導(dǎo)向槽配合控制了活動(dòng)吸桿的行程范圍,且可防止活動(dòng)吸桿在套筒吸桿上自轉(zhuǎn),可根據(jù)按壓測試所需壓力進(jìn)行彈簧更換,拆裝方便、使用靈活、成本較低。
附圖說明
圖1是本實(shí)用新型的整體外部結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本實(shí)用新型的整體剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中:
1、套筒吸桿;2、活動(dòng)吸桿;3、彈簧;11、鎖定螺栓;12、螺紋通孔;13、強(qiáng)化滑套;14、束口環(huán);21、導(dǎo)向槽;22、定位環(huán)臺(tái)。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行說明。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





