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[實用新型]一種固晶機有效

專利信息
申請號: 202220471174.6 申請日: 2022-03-04
公開(公告)號: CN216936819U 公開(公告)日: 2022-07-12
發明(設計)人: 趙越;柯曉玉 申請(專利權)人: 東莞市耀野自動化有限公司
主分類號: B05C5/02 分類號: B05C5/02;B05C11/10;B05C13/02;F16B11/00
代理公司: 東莞市華南專利商標事務所有限公司 44215 代理人: 何冠威
地址: 523000 廣東省東莞市東城街道主*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 固晶機
【說明書】:

實用新型涉及晶圓貼裝設備技術領域,尤其是指一種固晶機,包括機臺、架設于機臺的位置調整機構、分別與位置調整機構的調整端連接的貼裝裝置和雙攝像定位裝置及分別裝設于機臺的供晶圓裝置、送料裝置、供膠裝置和加工頭更換架,加工頭更換架儲存有至少一種點膠頭和至少一種貼裝頭,雙攝像定位裝置與位置調整機構電連接,位置調整機構用于驅動貼裝裝置和雙攝像定位裝置在供晶圓裝置、送料裝置、供膠裝置和加工頭更換架的上方活動。本實用新型通過雙攝像定位裝置分別對晶圓和產品進行視覺定位,定位精度高,提高了貼裝的精度,且一個貼裝裝置即可完成點膠和貼裝的工藝,結構簡單且緊湊,成本低。

技術領域

本實用新型涉及晶圓貼裝設備技術領域,尤其是指一種固晶機。

背景技術

固晶機是一種將晶圓貼裝在載體(產品)上的設備。現有技術中的固晶機具有點膠裝置和貼裝裝置,分別通過點膠裝置和貼裝裝置完成點膠和貼裝的工藝,使得設備的結構復雜,制造成本高,難以準確地對晶圓和載體進行定位,導致固晶精度差。因此,缺陷十分明顯,亟需提供一種解決方案。

實用新型內容

為了解決上述技術問題,本實用新型的目的在于提供一種固晶機。

為了實現上述目的,本實用新型采用如下技術方案:

一種固晶機,其包括機臺、架設于機臺的位置調整機構、分別與位置調整機構的調整端連接的貼裝裝置和雙攝像定位裝置及分別裝設于機臺的供晶圓裝置、送料裝置、供膠裝置和加工頭更換架,所述加工頭更換架儲存有至少一種點膠頭和至少一種貼裝頭,所述雙攝像定位裝置與位置調整機構電連接,所述位置調整機構用于驅動貼裝裝置和雙攝像定位裝置在供晶圓裝置、送料裝置、供膠裝置和加工頭更換架的上方活動。

進一步地,所述貼裝裝置包括貼裝座、轉動調節機構、連接座、壓力傳感器、連接桿、連接臂、磁鐵、調節旋鈕、限位件、彈簧及霍爾傳感器,所述貼裝座與位置調整機構的調整端連接,所述轉動調節機構裝設于貼裝座,所述連接座與轉動調節機構的轉動端連接,所述壓力傳感器裝設于連接座,所述連接桿升降設置于連接座,所述連接桿的頂部用于抵觸壓力傳感器的輸入端,所述連接桿的底部可拆卸地連接點膠頭或貼裝頭,所述連接臂與連接桿連接,所述磁鐵裝設于連接臂,所述調節旋鈕與連接座螺紋連接,所述限位件設置于連接座,所述限位件用于對連接臂進行限位,所述霍爾傳感器裝設于連接座,所述磁鐵與霍爾傳感器對應設置,所述調節旋鈕套設于壓力傳感器和連接桿外,所述調節旋鈕經由彈簧與連接桿彈性連接,所述彈簧套設于壓力傳感器和連接桿外。

進一步地,所述連接座裝設有空氣軸承,所述連接桿經由空氣軸承與連接座升降地連接。

進一步地,所述連接臂貫穿連接桿的徑向,所述磁鐵裝設于連接臂的一端,所述連接臂的另一端與連接座滑動連接。

進一步地,所述連接座螺紋連接有調節螺栓,所述調節螺栓經由拉簧與連接臂靠近磁鐵的一端連接。

進一步地,所述連接座開設有升降槽,所述連接臂遠離磁鐵的一端經由滾動件與升降槽的內壁滾動抵觸。

進一步地,所述雙攝像定位裝置包括與位置調整機構的調整端連接的安裝架及分別裝設于安裝架的第一攝像機、第二攝像機、棱鏡和45°反射鏡,所述第一攝像機與第二攝像機平行設置,所述安裝架開設有光孔,所述棱鏡顯露于光孔并位于第一攝像機的攝像端下方,所述棱鏡與45°反射鏡對應設置,所述45°反射鏡位于第二攝像機的攝像端下方。

進一步地,所述固晶機還包括裝設于機臺的攝像標定機構,所述攝像標定機構用于對雙攝像定位裝置進行校準。

進一步地,所述攝像標定機構包括裝設于機臺的標定座、裝設于標定座的第三攝像機、套設于第三攝像機的鏡頭外的補光燈及位于鏡頭的上方的校準件,所述校準件開設有標定孔,所述第三攝像機的鏡頭朝上設置。

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