[實用新型]一種適用于無片籃硅片清洗的旋轉(zhuǎn)與翻轉(zhuǎn)機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220467835.8
• 申請日: 2022-03-04
• 公開（公告）號: CN217009136U
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設計）人: 卡爾·羅伯特·休斯特;嚴賀強
• 申請（專利權(quán)）人: 硅密（常州）電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京鑫知翼知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11984
• 代理人: 孫長江

1.一種適用于無片籃硅片清洗的旋轉(zhuǎn)與翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，包括由四根骨架以及頂板和底板組成的工作臺、轉(zhuǎn)動平臺以及裝載硅片的翻轉(zhuǎn)片籃組件；轉(zhuǎn)動平臺位于工作臺頂板上，工作臺底板上設有驅(qū)動轉(zhuǎn)動平臺旋轉(zhuǎn)的第一驅(qū)動機構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于無片籃硅片清洗的旋轉(zhuǎn)與翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)片籃組件設置在轉(zhuǎn)動平臺上，翻轉(zhuǎn)片籃組件包括相對設置在轉(zhuǎn)動平臺上的兩支座、片籃通過轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動的安裝在兩支座之間，一支座外側(cè)的轉(zhuǎn)動平臺上設有驅(qū)動轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的第一驅(qū)動器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于無片籃硅片清洗的旋轉(zhuǎn)與翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述第一驅(qū)動機構(gòu)包括安裝在骨架上的支撐平臺、支撐平臺底面設有第二驅(qū)動器、齒輪組以及轉(zhuǎn)盤；所述齒輪組包括與第二驅(qū)動器連接的主動齒輪以及與主動齒輪嚙合的從動齒輪；所述轉(zhuǎn)盤位于支撐平臺上方且與從動齒輪連接，轉(zhuǎn)盤上設有支撐板，支撐板頂端與轉(zhuǎn)動平臺連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種適用于無片籃硅片清洗的旋轉(zhuǎn)與翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述支撐板上還設有升降模組，升降模組包括設置在支撐板上的絲桿以及可在絲桿上移動的移動塊；所述移動塊連接有豎臂，豎臂頂端與頂片平臺連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種適用于無片籃硅片清洗的旋轉(zhuǎn)與翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動平臺上設有凹槽，該凹槽位于片籃上料位的正下方；頂片平臺位于凹槽正下方。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種適用于無片籃硅片清洗的旋轉(zhuǎn)與翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述頂片平臺截面呈U形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于無片籃硅片清洗的旋轉(zhuǎn)與翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述底板底面四角處均設有支撐腳墊。