[實用新型]自動聚焦系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220443018.9
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN217561823U
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 西蒙·普林斯;達尼洛·孔代洛;文森特·謝;克里薩達·彭西里;約翰·奧肖內(nèi)西
• 申請（專利權(quán)）人: 伊魯米那股份有限公司
• 主分類號: G02B21/24
• 分類號: G02B21/24;G02B5/04;G02B7/09;G02B21/06;G02B27/42
• 代理公司: 北京安信方達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11262
• 代理人: 韓輝峰;楊明釗

1.一種自動聚焦系統(tǒng)，其特征在于，包括：

分束器，所述分束器用于形成彼此偏離預(yù)定角度的左自動聚焦光和右自動聚焦光；

物鏡，所述物鏡用于向基板的第一表面?zhèn)魉退鲎笞詣泳劢构夂退鲇易詣泳劢构猓缓?/p>

傳感器，所述傳感器用于在所述左自動聚焦光的至少第一部分和所述右自動聚焦光的至少第一部分從所述第一表面反射之后接收所述左自動聚焦光的至少第一部分和所述右自動聚焦光的至少第一部分，其中，在所述傳感器處，在所述左自動聚焦光的第一部分和所述右自動聚焦光的第一部分之間的預(yù)定間隔指示所述基板在所述物鏡的焦點上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述分束器是側(cè)向位移棱鏡的一部分。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述側(cè)向位移棱鏡包括相對于彼此具有非零角度的多個出射表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述側(cè)向位移棱鏡包括：

第一表面；

第二表面，所述側(cè)向位移棱鏡的所述第二表面平行于所述側(cè)向位移棱鏡的所述第一表面；

第三表面；

第四表面；

第五表面，所述第五表面具有與所述第四表面在一起的邊界，其中，所述第四表面和所述第五表面中的每一者與所述第三表面形成公共角；以及

部分反射層，所述部分反射層在所述第三表面與所述第四表面和所述第五表面的所述邊界之間延伸。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中：

所述側(cè)向位移棱鏡的所述第一表面具有與所述第三表面、所述第四表面和所述第五表面在一起的邊界；以及

所述側(cè)向位移棱鏡的所述第二表面具有與所述第三表面、所述第四表面和所述第五表面在一起的邊界。

6.根據(jù)權(quán)利要求4至5中任一項所述的系統(tǒng)，其中，所述第三表面是入射表面，其中，所述第四表面是所述左自動聚焦光的出射表面，并且其中，所述第五表面是所述右自動聚焦光的出射表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述側(cè)向位移棱鏡包括：

第一棱鏡，所述第一棱鏡具有第一楔形剖面，所述第一楔形剖面包括相對于第一出射側(cè)形成非零角度的第一側(cè)；

第二棱鏡，所述第二棱鏡具有第二楔形剖面，所述第二楔形剖面包括相對于第二出射側(cè)形成非零角度的第二側(cè)；以及

第三棱鏡，所述第三棱鏡具有平行四邊形剖面，所述平行四邊形剖面包括平行于第四側(cè)的第三側(cè)和平行于第六側(cè)的第五側(cè)，所述平行四邊形剖面的第三側(cè)是所述側(cè)向位移棱鏡的入射表面的一部分；

其中，所述第一棱鏡的第一側(cè)和所述第二棱鏡的第二側(cè)中的每一者都面向所述第三棱鏡的第四側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述分束器包括：

第一反射表面，初始自動聚焦光入射在所述第一反射表面上；

部分反射層，所述初始自動聚焦光在所述第一反射表面處被反射后入射在所述部分反射層上，所述部分反射層形成所述左自動聚焦光和所述右自動聚焦光；以及

第二反射表面，所述左自動聚焦光或所述右自動聚焦光中的一者在所述部分反射層處被形成之后入射在所述第二反射表面上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)還包括第一反射表面，所述第一反射表面用于將所述左自動聚焦光的第一部分和所述右自動聚焦光的第一部分導(dǎo)向所述傳感器。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)還包括第二反射表面，所述第二反射表面用于將發(fā)射光導(dǎo)向所述傳感器，所述發(fā)射光源自在所述基板處的樣本并通過所述物鏡傳送。