[實用新型]一種攜帶電源盒的電源柜

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220435760.5
• 申請日: 2022-03-02
• 公開（公告）號: CN217134933U
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姜靖
• 申請（專利權(quán)）人: 上海悅匠實業(yè)有限公司
• 主分類號: H02B1/30
• 分類號: H02B1/30;H02B1/36;H02M7/00
• 代理公司: 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

本實用新型一種攜帶電源盒的電源柜包括，柜體內(nèi)由上至下固定多個水平承載板，位于上方的水平承載板的底部和位于下方的水平承載板的頂部之間的空腔按照由左至右方向設(shè)置為多個插槽，每一插槽中插設(shè)有一個分子泵電源盒，分子泵電源盒包括抽屜式盒體，抽屜式盒體的前部設(shè)置有交流進(jìn)電指示燈、直流輸出指示燈和把手，抽屜式盒體的后部設(shè)置有交流電輸入口和直流電輸出口，抽屜式盒體內(nèi)固定有直流電源模塊，交流電輸入口穿設(shè)有用于連接外接電源和直流電源模塊的進(jìn)線，直流電輸出口穿設(shè)有用于連接分子泵和直流電源模塊的出線，交流進(jìn)電指示燈和直流輸出指示燈與直流電源模塊導(dǎo)線連接。設(shè)計簡潔，可同時放置多個電源盒，滿足多臺分子泵同時工作。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及電源盒技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種攜帶電源盒的電源柜。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體技術(shù)中，薄膜濺射是金屬互聯(lián)的主要工藝手段，在薄膜濺射前，需要對晶圓表面進(jìn)行預(yù)清除，來去掉其表面的氧化物來降低之后薄膜濺射時的接觸電阻。這個工藝通常在蝕刻腔完成，蝕刻腔在工藝工程中需要用到分子泵來抽真空。之前的分子泵都是采用交流電源加驅(qū)動器來工作，隨著技術(shù)的發(fā)展，分子泵的控制模塊和分子泵集成在一起，供電直接改為直流供電，這樣電源模塊的安裝位置和安裝方式就要重新設(shè)計，本實用新型就是針對此問題而設(shè)計的。

實用新型內(nèi)容

本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題和不足，提供一種新型的攜帶電源盒的電源柜。

本實用新型是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題的：

本實用新型提供一種攜帶電源盒的電源柜，其特點在于，其包括柜體，所述柜體內(nèi)由上至下固定有多個水平承載板，相鄰所述水平承載板中，位于上方的水平承載板的底部和位于下方的水平承載板的頂部之間的空腔按照由左至右方向設(shè)置為多個插槽，每一所述插槽中插設(shè)有一個分子泵電源盒，所述分子泵電源盒包括抽屜式盒體，所述抽屜式盒體的前部設(shè)置有交流進(jìn)電指示燈、直流輸出指示燈和把手，所述抽屜式盒體的后部設(shè)置有交流電輸入口和直流電輸出口，所述抽屜式盒體內(nèi)固定有直流電源模塊，所述交流電輸入口穿設(shè)有用于連接外接電源和直流電源模塊的進(jìn)線，所述直流電輸出口穿設(shè)有用于連接分子泵和直流電源模塊的出線，所述交流進(jìn)電指示燈和直流輸出指示燈與直流電源模塊導(dǎo)線連接。

較佳地，按照由上至下方向第一個水平承載板的底部和第二個水平承載板的頂部之間的空腔按照由左至右方向設(shè)置為多個插槽。

本實用新型的積極進(jìn)步效果在于：

本實用新型分子泵電源盒集成在電源柜上，采用抽屜式的結(jié)構(gòu)，拆裝方便，整個電源柜結(jié)構(gòu)設(shè)計簡潔，可同時放置多個電源盒，滿足多臺分子泵同時工作。

附圖說明

圖1為本實用新型較佳實施例的攜帶電源盒的電源柜的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型較佳實施例的攜帶電源盒的電源柜的局部放大圖。

圖3為本實用新型較佳實施例的分子泵電源盒的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。