[實用新型]可調(diào)壓式研磨壓塊結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220434344.3
• 申請日: 2022-03-02
• 公開（公告）號: CN216940088U
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋華平;屈紅霞;楊軍偉;陳小龍
• 申請（專利權(quán)）人: 松山湖材料實驗室;中國科學院物理研究所
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 劉嘉偉

本實用新型公開了一種可調(diào)壓式研磨壓塊結(jié)構(gòu)，其包括載物臺、壓塊、固定部件和研磨產(chǎn)品，所述壓塊通過固定部件設(shè)置在載物臺的頂面，所述研磨產(chǎn)品位于所述載物臺的底面。本實用新型設(shè)計巧妙、合理，在載物臺上加設(shè)有壓塊，而壓塊的數(shù)量和形狀可以根據(jù)不同樣品的加工要求而定，然后通過固定部件進行固定，即通過簡單的將載物臺與研磨壓塊、研磨壓塊與研磨壓塊之間的簡單組裝，達到可調(diào)節(jié)施加在研磨盤上的壓力的目的，實現(xiàn)研磨工藝的壓力可控性，提高了樣品的加工效率，整個操作過程簡易，方便，而且研磨盤受力均勻，研磨效果好，另外整體結(jié)構(gòu)簡單，成本低，易于實現(xiàn)，利于廣泛推廣應(yīng)用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及研磨技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可調(diào)壓式研磨壓塊結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

隨著集成電路制造過程中特征尺寸的縮小和金屬互連的增加，以及對晶圓表面平整度的要求越來越高，為此，需要對半導(dǎo)體晶圓進行研磨。

現(xiàn)有的研磨加壓方式主要是將樣品粘在固定重量的載物臺上，將載物臺放在研磨盤上，研磨盤在旋轉(zhuǎn)時，載物臺相對研磨盤是靜止的，從而實現(xiàn)對樣品的研磨，研磨的壓力是由載物臺的重力而決定的。

然而現(xiàn)有的載物臺的重量是固定，即對研磨盤施加的壓力也是一定，不能隨樣品硬度、樣品尺寸而相應(yīng)調(diào)節(jié)。為此，存在有以下問題：(1)不同硬度的樣品所需的研磨壓力不同，對于高硬度樣品因施加的研磨壓力過大會造成樣品在研磨過程中碎裂；對于低硬度樣品因施加的研磨壓力小而導(dǎo)致研磨效率低。(2)不同尺寸的樣品所需的研磨壓力也不同，對于小尺寸樣品因施加的研磨壓力過大會造成樣品的過研磨或/和碎裂，需要工作人員長時間反復(fù)觀察，人力成本高；對于大尺寸樣品因施加的研磨壓力小需要對樣品長時間研磨，研磨效率低。此外，施加在研磨盤上的研磨壓力與樣品所需的研磨壓力不匹配，長時間研磨會造成研磨盤出現(xiàn)不可逆損傷。另外一種加壓方式是將樣品放在研磨盤上，采用液壓缸或者氣缸對樣品直接加壓。雖然這種加壓方式能精確控制研磨壓力大小，但是其裝置成本高，且難以保證對樣品施加的壓力均勻性，從而造成研磨面平整度較差。

實用新型內(nèi)容

針對上述不足，本實用新型的目的在于，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、合理，易于實現(xiàn)，成本低的可調(diào)壓式研磨壓塊結(jié)構(gòu)。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型所提供的技術(shù)方案是：一種可調(diào)壓式研磨壓塊結(jié)構(gòu)，其包括載物臺、壓塊、固定部件和研磨產(chǎn)品，所述壓塊通過固定部件設(shè)置在載物臺的頂面，所述研磨產(chǎn)品位于所述載物臺的底面。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述壓塊呈圓盤狀。當數(shù)量為多塊時，將多塊壓塊依次疊置。更優(yōu)選時，多塊圓盤狀的壓塊的直徑不同，直徑大的壓塊位于下面，直徑小的壓塊位于上面。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述壓塊包括多塊扇形塊體，多塊扇形塊體接合后形成一外形輪廓為圓形的盤體。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述壓塊呈環(huán)狀。若數(shù)量為多個時，優(yōu)選各個環(huán)狀的壓塊的直徑不同，這樣能實現(xiàn)在同一平面呈同圓心設(shè)置，降低重心，工作穩(wěn)定性好。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述固定部件為螺釘或銷釘?shù)炔考子诓僮骱脱b配。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述研磨產(chǎn)品通過粘連劑粘貼在載物臺的底面。粘連劑可以選用石蠟、粘膠等等。

本實用新型的有益效果為：本實用新型設(shè)計巧妙、合理，在載物臺上加設(shè)有壓塊，而壓塊的數(shù)量和形狀可以根據(jù)不同樣品的加工要求而定，如樣品硬度、樣品尺寸、樣品加工所需的去除厚度、研磨時長、研磨盤的使用壽命等，然后通過固定部件進行固定，即通過簡單的將載物臺與研磨壓塊、研磨壓塊與研磨壓塊之間的簡單組裝，達到可調(diào)節(jié)施加在研磨盤上的壓力的目的，實現(xiàn)研磨工藝的壓力可控性，提高了樣品的加工效率，整個操作過程簡易，方便，而且研磨盤受力均勻，研磨效果好，另外整體結(jié)構(gòu)簡單，成本低，易于實現(xiàn)，利于廣泛推廣應(yīng)用。

下面結(jié)合附圖與實施例，對本實用新型進一步說明。

附圖說明