[實用新型]用于晶圓檢測的機械手上下料設備

有效

• 申請號: 202220431523.1
• 申請日: 2022-02-21
• 公開（公告）號: CN218289380U
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 程玉學;楊雪梅
• 申請（專利權）人: 三河市致欣科技有限公司
• 主分類號: B65G47/04
• 分類號: B65G47/04;B65G29/00;B08B5/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.用于晶圓檢測的機械手上下料設備，其特征在于：包括安裝支撐座(1)；所述安裝支撐座(1)上轉動連接有運行裝置(2)；運行裝置(2)上固定連接有安裝部(3)；安裝部(3)上固定連接有四個復位裝置(4)；安裝部(3)上滑動連接有四個推進裝置(5)；四個推進裝置(5)上分別滑動連接有緩沖定位裝置(6)；所述安裝支撐座(1)包括：安裝支撐盤(101)，安裝支撐盤(101)底部兩側分別固定連接有安裝腳板(1011)；所述運行裝置(2)包括：運行轉軸(201)，運行轉軸(201)轉動連接在安裝支撐盤(101)上；運行轉軸(201)底部設有錐齒輪；運行轉軸(201)通過底部的錐齒輪嚙合于安裝支撐座(1)上的電機錐齒輪(103)。

2.如權利要求1所述用于晶圓檢測的機械手上下料設備，其特征在于：所述安裝支撐座(1)還包括：驅動電機(102)，驅動電機(102)安裝在安裝支撐盤(101)上；驅動電機(102)軸端設有電機錐齒輪(103)。

3.如權利要求1所述用于晶圓檢測的機械手上下料設備，其特征在于：所述運行裝置(2)還包括：聯動擠壓件(202)，聯動擠壓件(202)固定連接在安裝支撐盤(101)上；聯動擠壓件(202)上設有三個擠壓塊；聯動擠壓件(202)內部穿過有運行轉軸(201)。

4.如權利要求1所述用于晶圓檢測的機械手上下料設備，其特征在于：所述安裝部(3)包括：運行安裝盤(301)，運行安裝盤(301)固定連接在運行轉軸(201)上；運行安裝盤(301)上設有四個缺口槽(3011)；吸風機(302)，吸風機(302)安裝在運行安裝盤(301)上；吸風箱(303)，吸風箱(303)設有四個，四個吸風箱(303)分別嵌裝在四個缺口槽(3011)上；吸風箱(303)底部管接吸風機(302)。

5.如權利要求4所述用于晶圓檢測的機械手上下料設備，其特征在于：所述復位裝置(4)包括：復位支撐座(401)，復位支撐座(401)固定連接在運行安裝盤(301)底部；滑動安裝軸(402)，滑動安裝軸(402)滑動連接在復位支撐座(401)上；滑動安裝軸(402)上套裝有彈簧。

6.如權利要求4所述用于晶圓檢測的機械手上下料設備，其特征在于：所述推進裝置(5)包括：推進移動塊(501)，推進移動塊(501)設有四個，四個推進移動塊(501)分別滑動連接在運行安裝盤(301)上；聯動桿(502)，聯動桿(502)設有四個，四個聯動桿(502)分別固定連接在四個推進移動塊(501)底部；四個聯動桿(502)底部穿過運行安裝盤(301)；四個聯動桿(502)底部與聯動擠壓件(202)平齊。

7.如權利要求6所述用于晶圓檢測的機械手上下料設備，其特征在于：所述緩沖定位裝置(6)包括：滑動推進軸(601)，滑動推進軸(601)設有八個，八個滑動推進軸(601)兩兩一組分別滑動連接在四個推進移動塊(501)上；滑動推進軸(601)后側均設有彈簧；推進墊塊(602)，推進墊塊(602)設有四個，四個推進墊塊(602)分別固定連接在八個滑動推進軸(601)上。