[實用新型]一種可探測晶圓邊緣的晶圓測試探針座

有效

• 申請號: 202220428869.6
• 申請日: 2022-03-01
• 公開（公告）號: CN217404467U
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發明（設計）人: 劉烽;郭云靜
• 申請（專利權）人: 河北西五科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/04
• 代理公司: 亳州速誠知識產權代理事務所(普通合伙) 34157
• 代理人: 宋心晶

1.一種可探測晶圓邊緣的晶圓測試探針座，包括頂板(1)，其特征在于，所述頂板(1)的底面安裝有一號絲桿(2)和與該一號絲桿(2)傳動連接的一號電機(3)，所述一號絲桿(2)上螺紋傳動安裝有一號滑板(4)，所述一號滑板(4)的底面安裝有二號絲桿(13)和與該二號絲桿(13)傳動連接的二號電機(14)，所述二號絲桿(13)上螺紋傳動安裝有二號滑板(5)，所述二號滑板(5)的底面固定安裝有氣缸(8)，所述氣缸(8)的伸縮端固定安裝有升降座(10)，所述升降座(10)上安裝有探針(11)，所述升降座(10)的底面安裝有若干均勻分布于探針(11)外圈的攝像頭(12)。

2.根據權利要求1所述的一種可探測晶圓邊緣的晶圓測試探針座，其特征在于，所述頂板(1)的底面固定安裝有與一號絲桿(2)平行設置的光軸導軌(15)，所述一號滑板(4)的一端滑動安裝于所述光軸導軌(15)上。

3.根據權利要求1所述的一種可探測晶圓邊緣的晶圓測試探針座，其特征在于，所述一號滑板(4)的底面設置有限位滑槽(6)，所述二號滑板(5)的頂面固定安裝有滑動安裝于所述限位滑槽(6)內部的限位滑塊(7)。

4.根據權利要求1所述的一種可探測晶圓邊緣的晶圓測試探針座，其特征在于，所述二號滑板(5)與所述升降座(10)之間安裝有若干限位伸縮軸(9)。

5.根據權利要求1所述的一種可探測晶圓邊緣的晶圓測試探針座，其特征在于，所述升降座(10)內設置有供探針(11)通過的滑孔(16)，所述探針(11)上固定安裝有滑動安裝于滑孔(16)內的滑臺(17)，所述滑臺(17)的上端設置有套裝于探針(11)上的彈簧(18)，且所述彈簧(18)的頂端抵接于所述滑孔(16)的頂壁上。