[實用新型]半導體設備及其加熱裝置

有效

• 申請號: 202220420244.5
• 申請日: 2022-02-28
• 公開（公告）號: CN217183509U
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 王建
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H05B6/44
• 分類號: H05B6/44;H05B6/10;C30B29/36;C30B23/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種應用于半導體設備的加熱裝置，包括高度調節組件和至少一對線圈組件，所述至少一對線圈組件用于沿高度方向依次套設在所述半導體設備的工藝腔室外側，所述高度調節組件與每個所述線圈組件連接，使每個所述線圈組件沿高度方向的位置可調，其特征在于，所述線圈組件包括線圈、上支撐板、下支撐板、固定結構、多個線圈固定板和多個線圈固定件，其中，所述線圈用于在通電狀態下對所述工藝腔室進行感應加熱；所述固定結構與所述上支撐板和所述下支撐板固定連接，所述上支撐板與所述下支撐板沿高度方向間隔設置且通過所述固定結構與所述高度調節組件連接；

多個所述線圈固定板和多個所述線圈固定件均環繞所述線圈的軸線沿所述線圈的周向間隔設置，所述線圈固定板的兩端分別與所述上支撐板和所述下支撐板固定連接；

每對所述線圈組件中位于上方的所述線圈組件中的下支撐板以及位于下方的所述線圈組件中的上支撐板均具有避讓結構，每個所述線圈組件中的所述上支撐板所在平面與對應的所述下支撐板所在平面之間的空間為線圈空間，每組所述線圈組件中所述線圈的至少一匝穿過對應的支撐板上的所述避讓結構并位于對應的所述線圈空間之外，且所述線圈固定板與對應的所述線圈位于所述線圈空間內的每匝固定連接，所述線圈固定件與對應的所述線圈位于所述線圈空間外的每匝以及位于所述線圈空間內的至少一匝固定連接。

2.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述線圈固定件與對應的所述線圈的每匝固定連接。

3.根據權利要求2所述的加熱裝置，其特征在于，所述線圈固定件為板狀，所述線圈固定件上形成有多個沿高度方向間隔設置的第一固定通孔，所述線圈的每匝對應于每個所述線圈固定件的位置均具有第一通孔，所述線圈固定件的多個第一固定通孔與所述線圈在對應周向位置的多個第一通孔高度一一對應，所述線圈固定件與所述線圈通過穿過對應的所述第一固定通孔和第一通孔的多個緊固件固定連接。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的加熱裝置，其特征在于，所述線圈固定板和所述線圈固定件均位于對應的所述線圈的外側。

5.根據權利要求4所述的加熱裝置，其特征在于，所述避讓結構具有與所述線圈同軸的圓柱內壁，且所述圓柱內壁的內徑與所述線圈的外徑對應，所述線圈固定板的兩端分別與對應的兩個支撐板彼此相對的表面固定連接；所述支撐板在所述避讓結構的邊緣上形成有多個沿厚度方向貫穿該支撐板的避讓缺口，多個所述線圈固定件一一對應地設置在所述避讓缺口中。

6.根據權利要求5所述的加熱裝置，其特征在于，所述線圈組件包括四個所述線圈固定板，四個所述線圈固定板沿所述線圈的周向等間隔設置。

7.根據權利要求6所述的加熱裝置，其特征在于，所述線圈組件包括兩對所述線圈固定件，每對所述線圈固定件位于相鄰兩個所述線圈固定板之間，且四個所述線圈固定板和四個所述線圈固定件關于所述線圈的軸線對稱設置。

8.根據權利要求4所述的加熱裝置，其特征在于，所述避讓結構為形成在對應的支撐板上的缺口，且所述缺口的開口朝向遠離所述固定結構的一側。

9.根據權利要求1至3中任意一項所述的加熱裝置，其特征在于，所述固定結構包括連接機構、連接板和兩組支撐筋板，所述連接板的一側與對應的所述上支撐板和所述下支撐板的同一側固定連接，所述連接板的另一側通過所述連接機構與所述高度調節組件連接；兩組所述支撐筋板分別與兩個支撐板對應，所述支撐筋板垂直于對應的所述支撐板，且所述支撐筋板的兩條邊分別與所述連接板以及對應的所述支撐板固定連接。

10.一種半導體設備，包括工藝腔室和加熱裝置，所述加熱裝置用于對所述工藝腔室進行加熱，其特征在于，所述加熱裝置為權利要求1至9中任意一項所述的加熱裝置。