[實(shí)用新型]一種冷卻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220420043.5
• 申請(qǐng)日: 2022-03-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN217334070U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫明亮;陳慶龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備（珠海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L23/473
• 分類號(hào): H01L23/473;H01L23/467
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 王賢義

1.一種冷卻裝置，其特征在于：它包括箱體（1）和若干個(gè)冷卻模組（2），若干個(gè)所述冷卻模組（2）均設(shè)置在所述箱體（1）的內(nèi)部，所述冷卻模組（2）包括冷卻盤（3）和若干根氣冷管（4），所述冷卻盤（3）上設(shè)有水冷通道，所述水冷通道與水泵裝置的輸出端相連通，若干根所述氣冷管（4）環(huán)繞設(shè)置在所述冷卻盤（3）上，若干根所述氣冷管（4）均與氣泵裝置的輸出端相連通，所述氣冷管（4）上設(shè)有若干個(gè)排氣孔（6），所述排氣孔（6）與放置在所述冷卻盤（3）上的產(chǎn)品相對(duì)設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷卻裝置，其特征在于：所述水冷通道包括兩個(gè)第一U型通道（7）和兩個(gè)相連通的第二U型通道（8），所述第二U型通道（8）位于兩個(gè)所述第一U型通道（7）之間，兩個(gè)所述第一U型通道（7）分別與兩個(gè)所述第二U型通道（8）相連通，所述冷卻模組（2）還包括水冷輸入閥（9）和水冷輸出閥（10），水泵裝置的輸出端與所述水冷輸入閥（9）相連通，所述水冷輸入閥（9）和所述水冷輸出閥（10）分別與兩個(gè)所述第一U型通道（7）相連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻模組（2）還包括若干個(gè)限位塊（11），若干個(gè)所述限位塊（11）環(huán)繞設(shè)置在所述冷卻盤（3）上，待冷卻產(chǎn)品適配在若干個(gè)所述限位塊（11）之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷卻裝置，其特征在于：所述一種冷卻裝置還包括密封模組，所述密封模組包括支撐座（12）、氣缸（13）以及密封板（14），所述支撐座（12）設(shè)置在所述箱體（1）的底部，所述氣缸（13）設(shè)置在所述支撐座（12）上，所述密封板（14）與所述氣缸（13）傳動(dòng)連接，所述密封板（14）滑動(dòng)配合在所述箱體（1）上，所述箱體（1）上設(shè)有開(kāi)口（15），所述密封板（14）與所述開(kāi)口（15）相適配。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷卻裝置，其特征在于：所述箱體（1）的內(nèi)部設(shè)置有溫度傳感器（16）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷卻裝置，其特征在于：所述箱體（1）的頂部設(shè)有抽氣孔（17），所述抽氣孔（17）與真空泵的輸出端相連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷卻裝置，其特征在于：所述箱體（1）的側(cè)部設(shè)置有高效過(guò)濾器（18）。