[實用新型]一種機械臂及電鍍設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220413901.3
• 申請日: 2022-02-28
• 公開（公告）號: CN217677852U
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊軍成
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯越州集成電路制造（紹興）有限公司
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C25D17/02
• 代理公司: 紹興市知衡專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33277
• 代理人: 鄧愛民

1.一種機械臂，其特征在于：包括橫桿支架、密封罩、密封罩升降機構(gòu)及控制系統(tǒng)；所述密封罩與所述橫桿支架通過所述密封罩升降機構(gòu)連接；所述密封罩升降機構(gòu)用于驅(qū)動所述密封罩上下移動；所述控制系統(tǒng)與所述密封罩升降機構(gòu)電連接；所述橫桿支架下方設(shè)有蓋板，所述蓋板與所述橫桿支架通過蓋板升降機構(gòu)連接，所述蓋板升降機構(gòu)用于驅(qū)動所述蓋板上下移動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機械臂，其特征在于：所述密封罩包括第一拼接部和第二拼接部，所述第一拼接部及所述第二拼接部通過密封罩開合機構(gòu)驅(qū)動拼合形成所述密封罩的完整體或分離并各自分列于所述蓋板的兩側(cè)；所述密封罩開合機構(gòu)與所述控制系統(tǒng)電連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種機械臂，其特征在于：所述密封罩的完整體為底部敞口的球形罩殼或者為平面結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種機械臂，其特征在于：所述第一拼接部及所述第二拼接部相對的側(cè)部中的至少一個側(cè)部設(shè)有側(cè)部密封圈。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機械臂，其特征在于：所述密封罩的底部設(shè)置底部密封圈。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的一種機械臂，其特征在于：所述密封罩升降機構(gòu)包括第一氣缸，所述第一氣缸與所述控制系統(tǒng)電連接；所述機械臂還包括用于監(jiān)測所述第一氣缸壓力的第一氣缸壓力表。

7.根據(jù)權(quán)利要求2-5任一項所述的一種機械臂，其特征在于：所述密封罩開合機構(gòu)包括第二氣缸，所述第二氣缸與所述控制系統(tǒng)電連接；所述機械臂還包括用于監(jiān)測所述第二氣缸壓力的第二氣缸壓力表。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機械臂，其特征在于：所述密封罩為一體式結(jié)構(gòu)，所述機械臂還包括平移機構(gòu)，所述平移機構(gòu)用于控制所述蓋板和/或所述密封罩沿所述橫桿支架的長度方向移動；所述平移機構(gòu)與所述控制系統(tǒng)電連接。

9.一種電鍍設(shè)備，其特征在于：包括如權(quán)利要求1-8任一項所述機械臂及杯式鍍槽；所述密封罩用于對所述杯式鍍槽進行密封。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種電鍍設(shè)備，其特征在于：所述電鍍設(shè)備還包括均與所述控制系統(tǒng)電連接的位置傳感器和測距傳感器，所述位置傳感器用于監(jiān)測所述密封罩與所述杯式鍍槽間的相對位置并將相對位置信號發(fā)送給所述控制系統(tǒng)，所述測距傳感器用于監(jiān)測所述密封罩與所述蓋板間的距離并將所述距離信號發(fā)送給所述控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)根據(jù)所述位置傳感器及所述測距傳感器反饋的信號來控制所述蓋板升降機構(gòu)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種電鍍設(shè)備，其特征在于：所述位置傳感器采用接觸式傳感器，所述接觸式傳感器安裝在所述密封罩的底部或者安裝在所述杯式鍍槽的頂部；或者所述位置傳感器采用接近式傳感器，所述接近式傳感器安裝在所述杯式鍍槽的旁邊。