[實用新型]用于可汽化固體源材料的汽化器容器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220394753.5
• 申請日: 2022-02-25
• 公開（公告）號: CN218596506U
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: B·卡多佐;J·托馬斯
• 申請（專利權(quán)）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;C23C16/50;C23C16/455
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 李婷

1.一種用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其特征在于包含：

汽化器容器主體，其包括限定內(nèi)部容積的內(nèi)表面；

所述汽化器容器的內(nèi)部容積的入口和出口；以及

至少一個導(dǎo)熱試劑支撐面板，其位于所述內(nèi)部容積內(nèi)并通過導(dǎo)熱接頭在所述內(nèi)表面處接合到所述汽化器容器主體，當(dāng)所述汽化器容器主體定向在填充定向上定向時，至少一個所述導(dǎo)熱試劑支撐面板中的每一個在第一豎直方向上延伸，而當(dāng)處于第二使用定向時，至少一個所述導(dǎo)熱試劑支撐面板水平延伸以支撐所述可汽化固體源材料的一部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其特征在于所述汽化器容器包括多個所述導(dǎo)熱試劑支撐面板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其特征在于所述多個導(dǎo)熱試劑支撐面板中的每一個各自彼此平行。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其特征在于所述多個導(dǎo)熱試劑支撐面板中的每一個從所述汽化器容器主體的所述內(nèi)表面延伸到所述內(nèi)部容積的中心線。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其特征在于所述多個導(dǎo)熱試劑支撐面板圍繞所述內(nèi)部容積的中心線均勻地徑向分布。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其特征在于所述導(dǎo)熱接頭沿至少一個所述導(dǎo)熱試劑支撐面板的整個長度延伸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其特征在于至少一個所述導(dǎo)熱試劑支撐面板中的每一個通過多個所述導(dǎo)熱接頭接合到所述汽化器容器主體的所述內(nèi)表面。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其特征在于在所述多個導(dǎo)熱接頭之間，在所述導(dǎo)熱試劑支撐面板與所述汽化器容器主體的所述內(nèi)表面之間存在間隙。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其特征在于所述汽化器容器主體具有開口，所述開口包括填充端口，所述填充端口與所述導(dǎo)熱試劑支撐面板間隔開，使得所述填充端口與由至少一個所述導(dǎo)熱試劑支撐面板限定的所有空間連通。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其特征在于至少一個所述導(dǎo)熱試劑支撐面板包括穿過所述試劑支撐面板的一或多個開口。