[實用新型]一種新型單晶爐熱場結構

有效

• 申請號: 202220387736.9
• 申請日: 2022-02-25
• 公開（公告）號: CN217378091U
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 馮立學;張玉峰
• 申請（專利權）人: 西安維柯億新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 西安泛想力專利代理事務所(普通合伙) 61260
• 代理人: 李思源

本實用新型提供了一種新型單晶爐熱場結構。包括坩堝堝體，所述坩堝堝體上方設置有導流筒，所述坩堝堝體下方設置有坩堝堝托和堝體支撐桿；所述堝體支撐桿貫穿于坩堝堝托，所述堝體支撐桿頂端與坩堝堝體固定連接；所述坩堝堝托安裝在堝體支撐桿上，所述坩堝堝托內側與坩堝堝體抵接；所述坩堝堝體的堝沿與導流筒的距離80～120mm。本實用新型通過改善熱場結構，增大加料空間，提高單次加料量，從而有效的解決此類問題，并且減少加料桶使用次數，間接的減少了料筒磕碰和炸裂的風險，加料空間的增大的同時，熱場高度可以適當降低，隨之加熱功率也會有所降低，能耗適當減小。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅制造技術領域，特別涉及一種新型單晶爐熱場結構。

背景技術

目前，直拉單晶爐二次加料系統是通過利用石英加料桶，將其吊入副室內，打開隔離閥，閉合副室，充入氬氣，吊入加料桶至坩堝堝體液面上方進行加料。此種結構進行二次加料時一次單筒加料重量有限，加滿后續拉制棒數所需的料需經過加料-熔化-加料多次操作，不僅影響生產效率，而且反復加料也會大大提高石英加料桶和副室嗑裂或者降溫不夠導致的炸裂的風險。

實用新型內容

本實用新型提供一種直拉單晶爐，用以解決現有的單晶爐由于空間有限導致單次加料量不足、能耗大的情況。具體方案為：

一種新型單晶爐熱場結構，包括坩堝堝體，

所述坩堝堝體上方設置有導流筒，所述坩堝堝體下方設置有坩堝堝托和堝體支撐桿；

所述堝體支撐桿貫穿于坩堝堝托，所述堝體支撐桿頂端與坩堝堝體固定連接；

所述坩堝堝托安裝在堝體支撐桿上，所述坩堝堝托內側與坩堝堝體抵接；

所述坩堝堝體的堝沿與導流筒的距離為80～120mm。

進一步的，所述堝體支撐桿徑向設置有支撐座，

所述支撐座位于坩堝堝托下方，所述支撐座固定在堝體支撐桿上，所述支撐座與坩堝堝托之間還設置有加強件；

所述加強件卡接在坩堝堝托底部，所述加強件固定在支撐座上。

進一步的，所述加強件的外徑尺寸大于支撐座的外徑尺寸，且所述加強件的外經尺寸小于坩堝堝托的外徑尺寸。

進一步的，所述加強件的厚度不超過55mm。

進一步的，所述加強件為托盤。

進一步的，所述坩堝堝托外依次還設置有加熱器和保溫筒，

所述保溫筒和加熱器均與坩堝堝體同心設置，所述保溫筒、加熱器以及坩堝堝體均位于單晶爐爐室內。

本實用新型的有益效果在于：

通過物理降低坩堝堝托的機械限位，在原熱場高度下，導流筒位置不變，坩堝堝體堝沿與導流筒的距離增大55mm，從而實現熔料時，料液的液面與導流筒距離變大，加料空間增大，提高單次加料量，有效的減少加料桶使用次數，間接的減少了料筒磕碰和炸裂的風險。

通過在支撐件與坩堝堝托之間設置有加強件，增大了支撐桿的承重面積，有效地緩解托桿的承重壓強，避免了支撐桿與坩堝堝托由于直接接觸，由于支撐桿與坩堝堝體的接觸面太小而造成的支撐桿受到的壓力過大造成支撐桿易被壓壞的問題；

同時坩堝堝體機械限位下降以后，可適當降低熱場高度10-20mm，減小加熱空間，從而有效的降低了能耗。

下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的限制。在附圖中：