[實(shí)用新型]一種新型真空鍍膜機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220368691.0
• 申請日: 2022-02-23
• 公開（公告）號: CN217230902U
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張偉
• 申請（專利權(quán)）人: 河南微納半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 河南商盾云專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41199
• 代理人: 劉凱

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種新型真空鍍膜機(jī)，包括鍍膜機(jī)本體，所述鍍膜機(jī)本體的一側(cè)設(shè)置有箱門，所述箱門的內(nèi)部設(shè)置有觀察窗，所述鍍膜機(jī)本體的底部設(shè)置有底箱，所述底箱的底部設(shè)置有輪子，所述鍍膜機(jī)本體的兩側(cè)分別設(shè)置有第一安裝板與第二安裝板，所述第一安裝板與第二安裝板遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)本體的一側(cè)均設(shè)置有安裝塊。該新型真空鍍膜機(jī)，通過第一安裝板、第二安裝板、絲桿、限位桿與工作電機(jī)的配合使用，使得該裝置在使用的過程中，可通過電機(jī)帶動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，從而達(dá)到對鍍膜機(jī)本體的高度進(jìn)行調(diào)整的目的，并且該裝置結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計(jì)合理，第一安裝板、第二安裝板與絲桿均便于安裝和拆卸，從而使得該裝置便于維修。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種新型真空鍍膜機(jī)。

背景技術(shù)

真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子槍加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種，主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種，真空鍍膜機(jī)中工件架大都固定安裝，不能夠調(diào)節(jié)工件架之間的距離，不便于放置不同高度的工件，不能夠調(diào)節(jié)真空鍍膜機(jī)的高度，需要將真空鍍膜機(jī)放置在支撐臺上操作，不便于真空鍍膜機(jī)的使用，因此市面上出現(xiàn)了一些設(shè)備改善了上述問題。

在中國專利CN215799872U中公開的一種便于調(diào)節(jié)高度的真空鍍膜機(jī)，該便于調(diào)節(jié)高度的真空鍍膜機(jī)，通過真空鍍膜機(jī)、框體、固定板、橫桿、套管、連接桿、電動(dòng)伸縮桿、真空泵、加熱器、豎桿、豎管、螺栓、工件架和箱門進(jìn)行配合，具備便于調(diào)節(jié)工件架的高度，便于在工件架上放置不同高度的工件，便于調(diào)節(jié)真空鍍膜機(jī)高度的優(yōu)點(diǎn)，解決了真空鍍膜機(jī)中工件架大都固定安裝，不能夠調(diào)節(jié)工件架之間的距離，不便于放置不同高度的工件，不能夠調(diào)節(jié)真空鍍膜機(jī)的高度，需要將真空鍍膜機(jī)放置在支撐臺上操作，不便于真空鍍膜機(jī)使用的問題，通過設(shè)置把手，便于箱門的開合，通過設(shè)置觀測窗，便于觀看真空鍍膜機(jī)內(nèi)腔的工件，通過設(shè)置萬向輪，便于真空鍍膜機(jī)的移動(dòng)，通過設(shè)置剎車塊，能夠?qū)θf向輪進(jìn)行鎖止固定，提高了真空鍍膜機(jī)的穩(wěn)定性，通過設(shè)置支撐板、導(dǎo)向桿和導(dǎo)向套，能夠?qū)φ婵斟兡C(jī)進(jìn)行導(dǎo)向，便于真空鍍膜機(jī)的豎向移動(dòng)，但是，該便于調(diào)節(jié)高度的真空鍍膜機(jī)，在解決問題的同時(shí)，還存在以下缺點(diǎn)：

其調(diào)高機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，并且調(diào)高機(jī)構(gòu)不便于安裝和拆卸，導(dǎo)致其不便于維修，因此亟需一種新型真空鍍膜機(jī)來改善上述問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種新型真空鍍膜機(jī)，用來解決現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)調(diào)高機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，并且調(diào)高機(jī)構(gòu)不便于安裝和拆卸，導(dǎo)致其不便于維修的技術(shù)問題。

本實(shí)用新型的上述實(shí)用新型目的是通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：

一種新型真空鍍膜機(jī)，包括鍍膜機(jī)本體，所述鍍膜機(jī)本體的一側(cè)設(shè)置有箱門，所述箱門的內(nèi)部設(shè)置有觀察窗，所述鍍膜機(jī)本體的底部設(shè)置有底箱，所述底箱的底部設(shè)置有輪子，所述鍍膜機(jī)本體的兩側(cè)分別設(shè)置有第一安裝板與第二安裝板，所述第一安裝板與第二安裝板遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)本體的一側(cè)均設(shè)置有安裝塊，所述第二安裝板的內(nèi)部開設(shè)有插槽，所述插槽的內(nèi)部插接有限位桿，所述第一安裝板的內(nèi)部開設(shè)有螺紋槽，所述螺紋槽的內(nèi)部螺紋連接有絲桿，所述絲桿的底部設(shè)置有連接桿，所述連接桿的底部設(shè)置有第一連接法蘭，所述底箱的內(nèi)部設(shè)置有工作電機(jī)，所述工作電機(jī)的輸出端設(shè)置有輸出軸，所述輸出軸遠(yuǎn)離工作電機(jī)的一端設(shè)置有第二連接法蘭。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述安裝板與安裝塊為一體結(jié)構(gòu)，所述鍍膜機(jī)本體的內(nèi)部開設(shè)有與安裝板相適配的安裝槽，且所述安裝板設(shè)置于安裝槽的內(nèi)部，且所述安裝塊通過螺絲釘與鍍膜機(jī)本體固定連接。

通過采用上述技術(shù)方案，通過采用螺絲釘?shù)姆绞綄Π惭b板進(jìn)行固定，使得兩個(gè)安裝板便于安裝和拆卸，從而使得該裝置的調(diào)高機(jī)構(gòu)便于拆卸和維修。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述第一連接法蘭與第二連接法蘭相適配，且所述第一連接法蘭與第二連接法蘭通過螺絲釘固定連接。