[實用新型]一種基于微納加工工藝的多參數水質監測傳感器

有效

• 申請號: 202220348512.7
• 申請日: 2022-02-21
• 公開（公告）號: CN216771586U
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 高峰;楊劍;車壽進;張南
• 申請（專利權）人: 明石創新（煙臺）微納傳感技術研究院有限公司;明石創新產業技術研究院有限公司
• 主分類號: G01N27/26
• 分類號: G01N27/26;G01N27/06;G01K7/18
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 馬國冉

1.一種基于微納加工工藝的多參數水質監測傳感器，包括傳感器本體(1)和芯片(2)，其特征在于：所述傳感器本體(1)內設置有芯片(2)，所述芯片(2)包括PH電極(3)、溶解氧電極(4)、電導率電極(5)和溫度電極(6)，所述PH電極(3)包括通用正極(7)和PH電極負極(8)，所述溶解氧電極(4)包括通用正極(7)和溶解氧負極(9)。

2.根據權利要求1所述的一種基于微納加工工藝的多參數水質監測傳感器，其特征在于：所述PH電極(3)、溶解氧電極(4)、電導率電極(5)和溫度電極(6)設置在芯片(2)上的不同區域。

3.根據權利要求1所述的一種基于微納加工工藝的多參數水質監測傳感器，其特征在于：所述PH電極(3)和溶解氧電極(4)的正電極均為通用正極(7)。

4.根據權利要求1所述的一種基于微納加工工藝的多參數水質監測傳感器，其特征在于：所述通用正極(7)包括硅基層(71)、鉑電極層(72)和氯化銀層(73)，所述硅基層(71)上設置有鉑電極層(72)，所述鉑電極層(72)上設置有氯化銀層(73)。

5.根據權利要求1所述的一種基于微納加工工藝的多參數水質監測傳感器，其特征在于：所述PH電極負極(8)包括硅基層(71)、鉑電極層(72)、二氧化硅層(81)和五氧化二鉭層(82)，所述硅基層(71)上設置有鉑電極層(72)，所述鉑電極層(72)上設置有二氧化硅層(81)，所述二氧化硅層(81)上設置有五氧化二鉭層(82)。

6.根據權利要求1所述的一種基于微納加工工藝的多參數水質監測傳感器，其特征在于：所述溶解氧負極(9)包括硅基層(71)、鉑電極層(72)和聚四氟乙烯薄膜(91)，所述硅基層(71)上設置有鉑電極層(72)，所述鉑電極層(72)上設置有聚四氟乙烯薄膜(91)。