[實用新型]一種單晶爐冷卻裝置

有效

• 申請號: 202220337354.5
• 申請日: 2022-02-20
• 公開（公告）號: CN216809011U
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發明（設計）人: 周旺超;黃劍雄
• 申請（專利權）人: 無錫松瓷機電有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 無錫永樂唯勤專利代理事務所(普通合伙) 32369
• 代理人: 孫際德

本實用新型提供了一種單晶爐冷卻裝置，包括安裝座、固定支撐座、滑動支撐座、伸縮殼體、對接殼體及冷卻器，其中：固定支撐座固定連接在安裝座上；滑動支撐座滑動連接在安裝座上，滑動支撐座被配置為能夠朝向或遠離固定支撐座滑動；伸縮殼體的第一端連接在滑動支撐座上，伸縮殼體的第二端連接在固定支撐座上；對接殼體的第一端連接在固定支撐座上并與伸縮殼體貫通，對接殼體的第二端用于連接單晶爐的爐口；冷卻器的第一端連接在滑動支撐座上并位于伸縮殼體內，滑動支撐座朝向固定支撐座滑動時，冷卻器的第二端依次穿過固定支撐座及對接殼體并穿入至單晶爐內。本實用新型將冷卻器經單晶爐的爐口推入至單晶爐的爐腔內，從而實施對單晶爐的快速冷卻。

技術領域

本實用新型涉及硅棒生產領域，具體地說是一種單晶爐冷卻裝置。

背景技術

目前，通常采用單晶爐來完成硅棒的拉制，每拉制完至少一根硅棒后，或對單晶爐進行檢修維護時，均需要對單晶爐的爐腔進行冷卻。傳統的冷卻方法為自然冷卻，自然冷卻需要耗費大量的時間，嚴重地影響了單晶爐的生產效率。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種單晶爐冷卻裝置，其詳細技術方案如下：

一種單晶爐冷卻裝置，包括安裝座、固定支撐座、滑動支撐座、伸縮殼體、對接殼體及冷卻器，其中：

固定支撐座固定連接在安裝座上；

滑動支撐座滑動連接在安裝座上，滑動支撐座被配置為能夠朝向或遠離固定支撐座滑動；

伸縮殼體的第一端連接在滑動支撐座上，伸縮殼體的第二端連接在固定支撐座上；

對接殼體的第一端連接在固定支撐座上并與伸縮殼體貫通，對接殼體的第二端用于連接單晶爐的爐口；

冷卻器的第一端連接在滑動支撐座上并位于伸縮殼體內，滑動支撐座朝向固定支撐座滑動時，冷卻器的第二端依次穿過固定支撐座及對接殼體并穿入至單晶爐內。

本實用新型提供的單晶爐冷卻裝置，其能夠實現與單晶爐的爐口的對接，并將冷卻器經單晶爐的爐口推入至單晶爐的爐腔內，從而實施對單晶爐的快速冷卻。

在一些實施例中，單晶爐冷卻裝置還包括設置在安裝座上的平移驅動機構，平移驅動機構用于驅動滑動支撐座朝向或遠離固定支撐座滑動。

通過設置平移驅動機構，實現了對滑動支撐座的驅動，使得滑動支撐座朝向或遠離固定支撐座滑動。

在一些實施例中，平移驅動機構包括沿同步帶、用于支撐和驅動同步帶的同步帶驅動機構；滑動支撐座與同步帶的一側帶體連接，滑動支撐座在同步帶的帶動下朝向或遠離固定支撐座滑動。

提供了一種結構簡單的平移驅動機構，其通過同步帶帶動滑動支撐座朝向或遠離固定支撐座滑動。

在一些實施例中，伸縮殼體的第一端經第一連接法蘭連接在滑動支撐座上，伸縮殼體的第二端經第二連接法蘭連接在固定支撐座上。

通過在伸縮殼體的兩端設置連接法蘭，保證了伸縮殼體與滑動支撐座、固定支撐座的穩定連接。

在一些實施例中，單晶爐冷卻裝置還包括設置在安裝座上的用于支撐伸縮殼體的伸縮殼體支撐機構。

通過設置伸縮殼體支撐機構，實現了對伸縮殼體的支撐，防止伸縮殼體在下墜碰觸到冷卻器。

在一些實施例中，伸縮殼體支撐機構包括支撐架及卡箍，其中：支撐架滑動連接在安裝座上，卡箍連接在支撐架上并卡箍在伸縮殼體上；伸縮殼體在滑動支撐座的帶動下伸縮時，伸縮殼體支撐機構在伸縮殼體的帶動下在安裝座上滑動。

通過對伸縮殼體支撐機構進行設置，一方面保證了伸縮殼體支撐機構對伸縮殼體的支撐效果，另一方面實現了伸縮殼體支撐機構與伸縮殼體的隨動，防止伸縮殼體支撐機構阻礙伸縮殼體的伸縮。