[實用新型]一種應用于真空等離子清洗機的電極

有效

• 申請號: 202220308200.3
• 申請日: 2022-02-16
• 公開（公告）號: CN217387076U
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 謝元勇;彭建文
• 申請（專利權）人: 珠海聚銳精密機電有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 廣東中衢知識產權代理事務所(普通合伙) 44755
• 代理人: 林靜濤

本實用新型提供一種應用于真空等離子清洗機的電極，其包括電極框，電極框設置有用于固定在于真空等離子清洗機處理腔內的安裝座，電極板設有電極棒固定塊，電極棒固定塊設有電極棒固定孔，電極框安裝有作為電極導體的冷卻鋁管，冷卻鋁管的兩端設有分別設有接水口；本實用新型通過冷卻鋁管作為電極導體，以實現均勻地對電極進行冷卻和提高蝕刻，同時解決現有板狀結構的電極在鉆孔時容易出現鉆偏，導致電極容易出現漏、冷卻管路分布不均勻和使電極冷卻不均勻；本實用新型屬于真空等離子清洗機的技術領域。

技術領域

本實用新型屬于真空等離子清洗機的技術領域，尤其涉及一種應用于真空等離子清洗機的電極。

背景技術

真空等離子清洗機是通過兩個電極形成電磁場，使真空環境內的分子間距及分子或郭受磁場作用，發生碰撞而形成等離子體和發生輝光，等離子體在電磁場內空間運動時轟擊被處理物體表面的油污、表面氧化物、灰化表面有機物以及其它化學物質，達到去除產品的表面處理、清洗和刻蝕。在現有的技術中，真空等離子清洗機內的電極板狀結構的鋁板，并通過在鋁板鉆深孔形成冷卻水管路，從而導致鋁板在鉆孔時產生大量的廢料和容易鉆偏，以使生產電極需要耗費大量鋁材、容易出現漏水和電極冷卻不均。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種應用于真空等離子清洗機的電極，以實現生產電極時減少鋁材的損耗、避免電極內的冷卻水管路出現漏水和均勻地對電極進行冷卻。

所述電極包括電極框，電極框設置有用于固定在于真空等離子清洗機處理腔內的安裝座，電極框設有電極棒固定塊，電極棒固定塊設有電極棒固定孔，電極框安裝有作為電極導體的冷卻鋁管，冷卻鋁管的兩端設有分別設有接水口。

真空等離子清洗機的處理腔安裝有兩個電極，工作時，處理腔內反應腔抽氣至一定的真空度，真空等離子清洗機的的高壓電源與電極電性連接，使位于反應腔室內的兩個形成電磁場。

更佳地，冷卻鋁管為彎曲狀，電極框上陣列安裝有若干個相互連接的冷卻鋁管；根據所述技術方案，使冷卻鋁管均勻地分布于電極框上，從而提高蝕刻均勻性。

更佳地，兩個冷卻鋁管的連接端設置有連接套；根據所述技術方案，以使本電極組裝時，便于對兩個冷卻鋁管連接。

可選的，接水口旁為彎曲部；根據所述技術方案，使本實用新型根據不同尺寸電極框均分地分布冷卻鋁管。

更佳地，電極框設有與冷卻鋁管配合的鏤空孔；根據所述技術方案，以提冷卻鋁管更好地形成電磁場。

可選的，電極框設有放置冷卻鋁管配合的固定槽；根據所述技術方案，以更好地固定于電極框上和便于將冷卻鋁管焊接于電極框上。

可選的，固定槽設置有固定壓板；根據所述技術方案，以便于對冷卻鋁管安裝和拆卸。

以下為本實用新型的有益效果：

1、本實用新型通過冷卻鋁管作為電極導體，以實現均勻地對電極進行冷卻和提高蝕刻；

2、解決現有板狀結構的電極在鉆孔時容易出現鉆偏，導致電極容易出現漏，同時現有板狀結構的電極在鉆孔的方式形成冷卻管路，從而導致電極中的冷卻管路分布不均勻，使電極冷卻不均勻；

3、解決現有板狀結構的電極因鉆孔而產生的廢料和同時降低電極加工難度。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型中的具體實施方式，以下將對具體實施方式中描述中需要使用的附圖及標號作簡單說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

附圖標記：

1、電極框；11、安裝座；12、電極棒固定塊；13、電極棒固定孔；14、鏤空孔；15、固定槽；16、固定壓板；2、冷卻鋁管；21、接水口；22、連接套； 23、彎曲部。