[實用新型]一種硅外延裝備水溫水流監控裝置

有效

• 申請號: 202220299026.0
• 申請日: 2022-02-14
• 公開（公告）號: CN217210960U
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 沈恒文;吉雙平;劉彤輝;金修領;郝小峰;王偉康;程宣林
• 申請（專利權）人: 江蘇艾匹克半導體設備有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02;G01D11/00
• 代理公司: 杭州寒武紀知識產權代理有限公司 33271
• 代理人: 殷篩網

1.一種硅外延裝備水溫水流監控裝置，包括傳感器主體(1)，其特征在于：所述傳感器主體(1)為數字流量和溫度一體式傳感器，所述傳感器主體(1)一側水平設置有管道(2)，所述傳感器主體(1)與管道(2)之間設置有連接管(3)，所述連接管(3)左端與管道(2)通過連接機構(4)連接，所述連接管(3)右端與傳感器主體(1)一端固定貫通連接；

所述連接機構(4)包括連接筒一(401)、限位環(403)、密封套(404)、連接筒二(405)、卡接腔(407)、擠壓片(408)、卡接板(409)、金屬彈片(410)、螺栓(411)、輔助條(412)，所述連接筒一(401)水平設置在連接管(3)左端與管道(2)右端之間，所述連接筒一(401)左端面貫通設置，所述連接管(3)左端貫穿連接筒一(401)右側面延伸至連接筒一(401)內部，所述管道(2)右端延伸至連接筒一(401)內部，所述密封套(404)水平固定設置在連接管(3)左端側面并與連接管(3)內部貫通設置，所述連接筒二(405)固定套設在管道(2)外表面，所述連接筒二(405)右端貫通設置，所述連接筒二(405)右端延伸至連接筒一(401)內部。

2.根據權利要求1所述的一種硅外延裝備水溫水流監控裝置，其特征在于：所述連接管(3)形狀為直線型或L型。

3.根據權利要求1所述的一種硅外延裝備水溫水流監控裝置，其特征在于：所述限位環(403)固定套設在連接管(3)左端表面，所述限位環(403)外表面與連接筒一(401)內壁滑動連接，所述限位環(403)側面與連接筒一(401)內壁相互卡接設置。

4.根據權利要求1所述的一種硅外延裝備水溫水流監控裝置，其特征在于：所述密封套(404)內徑從左往右逐漸變小設置，所述密封套(404)外側面與連接筒一(401)內壁滑動連接，所述管道(2)右端延伸至密封套(404)內部，所述管道(2)右端面與密封套(404)內壁密封擠壓接觸。

5.根據權利要求1所述的一種硅外延裝備水溫水流監控裝置，其特征在于：所述連接筒二(405)右端外表面與連接筒一(401)內壁螺紋連接，所述連接筒一(401)右端外表面沿連接筒一(401)軸線圍成一圈均勻開設有防滑槽(402)，所述密封套(404)由橡膠材料制成。

6.根據權利要求1所述的一種硅外延裝備水溫水流監控裝置，其特征在于：所述連接筒一(401)頂端內部對應連接筒二(405)右端位置豎直開設有卡接腔(407)，所述擠壓片(408)水平設置在卡接腔(407)內部，所述擠壓片(408)側面與卡接腔(407)內壁上下滑動連接，所述卡接板(409)豎直固定設置在擠壓片(408)底面，所述卡接板(409)底端貫穿卡接腔(407)內部底面延伸至連接筒一(401)內部，所述金屬彈片(410)設置在擠壓片(408)下方，所述金屬彈片(410)頂面與擠壓片(408)底面擠壓接觸，所述金屬彈片(410)底端與卡接腔(407)內部底面固定連接，所述螺栓(411)對應卡接腔(407)位置豎直設置在連接筒一(401)上方，所述螺栓(411)底端螺紋貫穿連接筒一(401)頂面延伸至卡接腔(407)內部并與擠壓片(408)頂面擠壓接觸。

7.根據權利要求6所述的一種硅外延裝備水溫水流監控裝置，其特征在于：所述連接筒二(405)外表面對應卡接板(409)底端水平開設有卡接槽(406)，所述卡接槽(406)沿連接筒二(405)軸線圍成一圈均勻設置在連接筒二(405)外表面，所述卡接板(409)底端延伸至卡接槽(406)內部并與卡接槽(406)內壁相互卡接設置，所述輔助條(412)沿連接筒一(401)徑向豎直設置，所述輔助條(412)對應卡接板(409)位置固定鑲嵌設置在連接筒一(401)左端側面。