[實用新型]一種砷外延尾氣凈化裝置

有效

• 申請號: 202220297148.6
• 申請日: 2022-02-14
• 公開（公告）號: CN217220691U
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 沈恒文;吉雙平;劉彤輝;金修領;郝小峰;王偉康;程宣林
• 申請（專利權）人: 江蘇艾匹克半導體設備有限公司
• 主分類號: B01D46/56
• 分類號: B01D46/56;B01D46/681
• 代理公司: 杭州寒武紀知識產權代理有限公司 33271
• 代理人: 殷篩網

1.一種砷外延尾氣凈化裝置，包括進氣管(1)，其特征在于：所述進氣管(1)和出氣管(2)左右對稱設置，所述進氣管(1)和出氣管(2)均為L型設置，所述進氣管(1)和出氣管(2)之間水平設置有濾氣管(3)，所述進氣管(1)和出氣管(2)底端均固定貫穿濾氣管(3)頂面設置；

所述濾氣管(3)右側面開口設置，所述濾氣管(3)右側豎直設置有螺紋盤(4)，所述螺紋盤(4)左側延伸至濾氣管(3)內部，所述螺紋盤(4)左側面水平固定設置有固定桿(5)，所述固定桿(5)右端表面滑動套設有套管(6)，所述進氣管(1)左端內部水平設置有適配塊(11)，所述適配塊(11)外表面與進氣管(1)內壁固定連接，所述出氣管(2)內部水平固定設置有固定套(16)，所述固定套(16)左右貫通設置，所述固定套(16)內部水平固定設置有隔板(17)，所述隔板(17)以固定套(16)軸線圍成一圈均勻設置，所述隔板(17)兩側面分別與相鄰的隔板(17)側面和固定套(16)內壁固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種砷外延尾氣凈化裝置，其特征在于：所述螺紋盤(4)右側外側面與濾氣管(3)內壁密封滑動連接，所述套管(6)表面豎直套設有過濾環板(7)，所述過濾環板(7)從左往右依次固定套設在套管(6)表面。

3.根據權利要求1所述的一種砷外延尾氣凈化裝置，其特征在于：所述固定桿(5)左端表面首尾相連水平開設有安裝環槽(8)，所述安裝環槽(8)內部與固定桿(5)左側貫通設置，清潔盤(9)豎直套設在固定桿(5)左端表面。

4.根據權利要求3所述的一種砷外延尾氣凈化裝置，其特征在于：所述清潔盤(9)內壁與安裝環槽(8)內部螺紋連接，所述清潔盤(9)外側面與濾氣管(3)內壁密封滑動連接，所述濾氣管(3)內部左側對應固定桿(5)左端水平開設有安裝孔(10)，所述固定桿(5)左端表面延伸至安裝孔(10)內部并與安裝孔(10)內壁螺紋連接。

5.根據權利要求1所述的一種砷外延尾氣凈化裝置，其特征在于：所述進氣管(1)左側水平設置有尾氣管(12)，所述尾氣管(12)右端延伸至進氣管(1)內部，所述進氣管(1)左端表面豎直固定套設有限位環(13)，所述尾氣管(12)左端外側套設有限位罩(14)，所述限位罩(14)內壁與尾氣管(12)內壁滑動連接，所述限位罩(14)右端開口設置并罩設在限位環(13)外側，所述限位環(13)左側面與限位罩(14)內壁接觸，所述限位罩(14)右端內壁與進氣管(1)外表面螺紋連接。

6.根據權利要求5所述的一種砷外延尾氣凈化裝置，其特征在于：所述適配塊(11)左側面水平開設有臺階槽，臺階槽內壁為傾斜設置，臺階槽內部右端貫通適配塊(11)設置，所述適配塊(11)為橡膠制成，所述尾氣管(12)右端面與臺階槽內壁密封擠壓接觸。

7.根據權利要求1所述的一種砷外延尾氣凈化裝置，其特征在于：所述固定套(16)右側豎直設置有過濾板(18)，所述過濾板(18)外側面與出氣管(2)內壁螺紋連接，所述過濾板(18)側面對應隔板(17)之間的位置水平固定設置有吸附塊(19)，所述吸附塊(19)左端延伸至隔板(17)之間并與隔板(17)表面和固定套(16)內壁滑動連接。