[實(shí)用新型]一種磷化銦無(wú)塵裝料裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220270665.4
• 申請(qǐng)日: 2022-02-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN216987573U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 關(guān)活明;歐俊朝;李啟聰;黃俊健;廖智宏;黃典明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)山市華興光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B01J4/00
• 分類號(hào): B01J4/00;B65G69/18
• 代理公司: 東莞市神州眾達(dá)專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44251
• 代理人: 周松強(qiáng)

一種磷化銦無(wú)塵裝料裝置，涉及一種填料裝置，包括機(jī)架，機(jī)架前有前門(mén)，前門(mén)下有操作門(mén)，操作門(mén)內(nèi)設(shè)密封手套，機(jī)架兩側(cè)有流出門(mén)，流出門(mén)內(nèi)有防塵布簾及吸塵風(fēng)扇，流出門(mén)一側(cè)有傳輸裝置，傳輸裝置在機(jī)架內(nèi)，機(jī)架底有底箱，機(jī)架頂有除塵裝置，除塵裝置有機(jī)械手，機(jī)械手上有儲(chǔ)料區(qū)且儲(chǔ)料區(qū)在機(jī)架內(nèi)，機(jī)架后有后門(mén)，機(jī)械手包括移載模組A、移載模組B及移載模組C。通過(guò)該裝置可實(shí)現(xiàn)，隔離式人工操作臺(tái)及自動(dòng)化裝料裝置，使該裝置在人工基礎(chǔ)上連接自動(dòng)化生產(chǎn)線，避免人工接觸磷化銦，避免磷化銦造成人體損傷；使用絲桿運(yùn)動(dòng)模組，提升裝填精度，同時(shí)提高取料爪行程，簡(jiǎn)化移載裝置結(jié)構(gòu)空間，便于日常維護(hù)；有除塵裝置，減少灰塵進(jìn)入，避免造成原料污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種填料裝置,尤其涉及一種磷化銦無(wú)塵裝料裝置。

背景技術(shù)

磷化銦作為一種用于芯片制造的原料，需要從多晶磷化銦原料轉(zhuǎn)化成單晶磷化銦，在這一過(guò)程中，需要通過(guò)一系列工藝操作達(dá)到轉(zhuǎn)化目的。在這一過(guò)程中，磷化銦首先需要在生長(zhǎng)爐中進(jìn)行轉(zhuǎn)化的第一步，而將磷化銦及其他填充物放入到生長(zhǎng)爐中往往是人工進(jìn)行裝填，而磷化銦及其他填充物，人體直接接觸會(huì)對(duì)人體造成損傷，如致癌；同時(shí)在人工填料中對(duì)于無(wú)塵環(huán)境的需要，往往也無(wú)法達(dá)到。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，特提出一種新的技術(shù)方案。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供了一種磷化銦無(wú)塵裝料裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問(wèn)題采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：一種磷化銦無(wú)塵裝料裝置，包括機(jī)架，機(jī)架的前端設(shè)有前門(mén)且兩者之間設(shè)有密封層，前門(mén)的下方設(shè)有操作門(mén)，操作門(mén)的內(nèi)部設(shè)有密封手套，機(jī)架的兩側(cè)設(shè)有流出門(mén)，流出門(mén)的內(nèi)部設(shè)有防塵布簾及吸塵風(fēng)扇，流出門(mén)的一側(cè)上設(shè)有傳輸裝置，傳輸裝置位于機(jī)架的內(nèi)部，機(jī)架的底部設(shè)有底箱，機(jī)架的頂部設(shè)有除塵裝置，除塵裝置的下方設(shè)有機(jī)械手，機(jī)械手的一側(cè)上設(shè)有儲(chǔ)料區(qū)且儲(chǔ)料區(qū)設(shè)在機(jī)架的內(nèi)部，機(jī)架的后端設(shè)有后門(mén)，所述的機(jī)械手包括移載模組A、移載模組B及移載模組C，移載模組A設(shè)在機(jī)架的內(nèi)部，移載模組A的頂部設(shè)有移載模組B，移載模組B上設(shè)有移載模組C。

所述的移載模組A包括基座A、電機(jī)A、支架軸、同步帶輪組AE、同步帶輪組AF、絲桿組A、導(dǎo)軌A及滑塊A，基座A設(shè)在機(jī)架的內(nèi)部，基座A的一端上設(shè)有電機(jī)A，電機(jī)A的輸出軸上設(shè)有同步帶輪組AE，同步帶輪組AE的一端上設(shè)有支架軸的軸段，支架軸的一端上設(shè)有同步帶輪組AF，同步帶輪組AF的一端上設(shè)有絲桿組A且絲桿組A位于基座A的頂部，基座A的頂部設(shè)有導(dǎo)軌A，導(dǎo)軌A上設(shè)有若干個(gè)滑塊A且兩者之間為滑動(dòng)連接。

所述的移載模組B包括基座B、桁架、加強(qiáng)筋B、電機(jī)B、連接板BE、連接板BF、安裝板B、滑塊B、導(dǎo)軌B、絲桿組B及聯(lián)軸器，基座B上設(shè)有桁架且兩者之間設(shè)有加強(qiáng)筋B，桁架的一端上設(shè)有電機(jī)B，電機(jī)B的輸出軸上設(shè)有絲桿組 B且兩者之間設(shè)有聯(lián)軸器，絲桿組B位于桁架的一側(cè)上，絲桿組B上設(shè)有絲桿滑塊且絲桿滑塊之間設(shè)有連接板BE，連接板BE的一側(cè)上設(shè)有連接板BF，連接板 BF的底部設(shè)有安裝板B，安裝板B與桁架之間設(shè)有導(dǎo)軌B，導(dǎo)軌B上設(shè)有若干個(gè)滑塊B且兩者之間為滑動(dòng)連接，滑塊B的頂部與安裝板B的底部連接。

所述的移載模組C包括基座C、加強(qiáng)筋C、導(dǎo)柱、上安裝臺(tái)、電機(jī)C、電機(jī)座、軸承、絲桿組C、下安裝臺(tái)及爪子座，基座C上設(shè)有若干個(gè)加強(qiáng)筋C且加強(qiáng)筋C的一端與移載模組B連接，基座C的內(nèi)部設(shè)有若干個(gè)導(dǎo)柱且兩者之間為滑動(dòng)連接，導(dǎo)柱的一端上設(shè)有上安裝臺(tái)，安裝臺(tái)的頂部設(shè)有電機(jī)座，電機(jī)座的頂部設(shè)有電機(jī)C，電機(jī)C的輸出軸上設(shè)有絲桿組C，絲桿組C中的絲桿滑塊固定在基座C的內(nèi)部，導(dǎo)柱的另一端上設(shè)有下安裝臺(tái)，下安裝臺(tái)的底部設(shè)有爪子座。

本實(shí)用新型的有益效果為：設(shè)有隔離式人工操作臺(tái)及自動(dòng)化裝料裝置，使得該裝置可以在人工裝料的基礎(chǔ)上連接自動(dòng)化生產(chǎn)線，避免人工過(guò)多的接觸磷化銦，避免磷化銦造成人體損傷；使用絲桿運(yùn)動(dòng)模組，有利于提升裝填精度，同時(shí)提高取料爪行程，簡(jiǎn)化移載裝置的結(jié)構(gòu)空間，便于日常維護(hù)；設(shè)有除塵裝置，減少灰塵的進(jìn)入，避免造成原料污染。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；