[實用新型]一種工裝載具

有效

• 申請號: 202220268835.5
• 申請日: 2022-02-10
• 公開（公告）號: CN217265988U
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 遲善述;劉明;片桐讓;朝倉太郎
• 申請（專利權）人: 山東華菱電子股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 陳宏

本實用新型涉及載具技術領域，具體公開了一種工裝載具。本工裝載具包括載具底板和載具掛板；載具底板包括底板主體，底板主體的一個側板面連接有頂部導向塊和底部導向塊；載具掛板的一個側板面為安裝面，另一個側板面開設有頂部側壁槽和底部側壁槽；載具掛板可拆卸地鉤掛于載具底板，底部導向塊沿豎直方向滑設于底部側壁槽內，載具掛板止動于頂部側壁槽的上側壁與頂部導向塊的頂面相貼合。本工裝載具通過豎直掛裝的方式實現了承載的目的，安裝快捷方便，連接牢固固定且造成的污染少。

技術領域

本實用新型涉及載具技術領域，尤其涉及一種工裝載具。

背景技術

磁控濺射鍍膜為利用高能電子轟擊靶材，并使靶材表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且最終沉積在基板表面，經歷成膜過程，最終形成薄膜，是一種基板表面非常均勻的鍍膜。在成膜腔內部，在磁場和電場的共同作用下，濺射物會最大程度的濺射在基板表面，如果濺射過程中有異物掉落到基板上，那么就會造成基板的廢棄，降低了鍍膜基板的品質。

對于薄板狀產品的鍍膜處理，使用旋轉鍍膜機進行鍍膜的傳統方式是使用螺絲進行固定。底板上加工有螺絲孔，掛板上加工有通孔，然后通過螺絲把掛板固定在底板上。擰螺絲操作動作復雜，需要一只手拿著掛板夾具，一只手拿著螺絲刀，還要拿取螺絲安裝，一個人完成非常困難。而且，擰螺絲時還可能有異物掉落到基板表面和成膜腔內，造成基板異物廢棄。現有技術中也存在著掛鉤連接結構，在掛板夾具上開孔，把掛板夾具掛在掛鉤上。但是此類結構的掛鉤在濺射成膜過程中一直暴露，表面存在著濺射污染物，容易掉落到基板表面，更換麻煩、效率低下且浪費較多。同時在更換過程中，掛鉤上也容易附著不良膜，掉落到基板表面造成污染廢棄。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種工裝載具，以解決工裝載具拆裝困難、連接不穩定以及易造成污染的問題。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種工裝載具，包括載具底板和載具掛板；所述載具底板包括底板主體，所述底板主體的一個側板面連接有頂部導向塊和底部導向塊，所述底部導向塊位于所述頂部導向塊下方；所述載具掛板的一個側板面為安裝面，另一個側板面開設有頂部側壁槽和底部側壁槽，所述底部側壁槽位于所述頂部側壁槽下方；所述載具掛板可拆卸地鉤掛于所述載具底板，所述底部導向塊沿豎直方向滑設于所述底部側壁槽內，所述載具掛板止動于所述頂部側壁槽的上側壁與所述頂部導向塊的頂面相貼合。

作為工裝載具的優選技術方案，所述頂部導向塊上凸設有定位銷，所述頂部側壁槽的槽底設有定位銷孔，所述定位銷穿設于所述定位銷孔，且所述定位銷能夠在所述定位銷孔內沿豎直方向移動。

作為工裝載具的優選技術方案，所述底板主體開設有定位銷連接孔，所述頂部導向塊開設有定位銷安裝通孔，所述定位銷的一端依次穿接于所述定位銷安裝通孔和所述定位銷連接孔，所述定位銷的另一端置于所述定位銷孔內。

作為工裝載具的優選技術方案，所述定位銷孔為長形孔，所述定位銷孔沿豎直方向延伸。

作為工裝載具的優選技術方案，所述頂部導向塊的頂面沿遠離所述底板主體的方向逐漸向上傾斜；從所述頂部側壁槽的槽底到所述頂部側壁槽的槽頂，所述頂部側壁槽的上側壁逐漸向下傾斜。

作為工裝載具的優選技術方案，所述底部側壁槽的底部通過連通槽與所述載具掛板的底部連通。

作為工裝載具的優選技術方案，所述連通槽沿豎直方向延伸，從底部側壁槽的底部到所述載具掛板的底部，所述連通槽左右兩側的側壁逐漸遠離。

作為工裝載具的優選技術方案，從所述底部側壁槽的槽底到所述底部側壁槽的槽頂，所述底部側壁槽左右兩側的側壁逐漸靠近，所述底部導向塊左右兩側的側壁沿遠離所述底板主體的方向距離逐漸增加。