[實用新型]一種基于CCD實時監控的高低溫探針臺

有效

• 申請號: 202220253087.3
• 申請日: 2022-02-08
• 公開（公告）號: CN217443488U
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 張子平;封桂英;馮基瑞
• 申請（專利權）人: 山東創譜光學儀器有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/073
• 代理公司: 山東國誠精信專利代理事務所(特殊普通合伙) 37312
• 代理人: 吳佳佳

本實用新型涉及探針臺技術領域，尤其涉及一種基于CCD實時監控的高低溫探針臺。其技術方案包括：工作平臺，支撐臺板的頂部固定安裝有橫縱滑動載物臺，橫縱滑動載物臺的頂部固定安裝伸縮氣缸，且伸縮氣缸的頂部固定安裝有安裝臺板，工作平臺的頂部固定安裝有安裝腔體，安裝腔體內滑動安裝有支撐板，支撐板上套裝有安裝框體，安裝框體內通過連接柱貫穿安裝有CCD攝像頭，工作平臺頂部的一側固定安裝有顯示器。本實用新型通過CCD攝像頭實現了對探針機構的實時監控，避免了傳統的人為式實時觀察監控的情況，便于人員無需靠近探針臺即可得知實時情況；通過橫縱滑動載物臺使探針臺可以根據實際作業需求對探針機構進行橫縱調節。

技術領域

本實用新型涉及探針臺技術領域，尤其涉及一種基于CCD實時監控的高低溫探針臺。

背景技術

高低溫探針臺是一種用于信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器，用于測試不同環境、不同溫度條件下微結構半導體器件、微電子器件及材料電學特性表征。

經檢索，專利公告號為CN211955566U公開了一種用于半導體器件的真空高低溫測試探針臺的實用新型，包括真空腔體、三維移動機構、電學測試機構、光學測試機構和光學觀察機構，真空腔體設置電信接口、冷源接口、抽氣接口和三維移動機構接口，并且真空腔體內設置載物臺，載物臺設置冷源流通管道，真空腔體外的冷源裝置通過循環管道與所述冷源流通管道相接，并且載物臺底面設置加熱部件，真空腔體通過真空接頭把光電信號引入真空腔體內的同時也能保證真空腔體的真空度；制冷劑直接通過載物臺循環，能夠實現快速降溫，同時配合加熱部件，通過加熱與降溫交替進行，快速達到半導體的測試溫度，大大縮減測試時間，提升半導體器件的測試效率。

現有的高低溫探針臺存在的缺陷是：

1、現有的高低溫探針臺在作業期間，需要人員消耗較多時間的進行實時觀察，增加了人力的損耗，降低了實用效果；

2、現有的高低溫探針臺在作業期間，整體結構形態較為固定，無法更好的根據實際檢測需求進行靈活調節，增加了作業期間的局限性。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對背景技術中存在的問題，提出一種基于CCD實時監控的高低溫探針臺。

本實用新型的技術方案：一種基于CCD實時監控的高低溫探針臺，包括工作平臺，所述工作平臺底部的四角固定安裝有支撐腿，所述支撐腿之間固定安裝有支撐臺板，所述支撐臺板的頂部固定安裝有橫縱滑動載物臺，所述橫縱滑動載物臺的頂部固定安裝伸縮氣缸，且伸縮氣缸的頂部固定安裝有安裝臺板，所述工作平臺的頂部固定安裝有安裝腔體，所述安裝腔體內滑動安裝有支撐板，所述支撐板上套裝有安裝框體，所述安裝框體內通過連接柱貫穿安裝有CCD攝像頭，所述工作平臺頂部的一側固定安裝有顯示器。

使用人員對基于CCD實時監控的高低溫探針臺完整性進行檢測作業，通過支撐腿實現對探針臺的穩定支撐，通過支撐臺板實現了作業器件的承載安裝，通過橫縱滑動載物臺使探針臺可以根據實際作業需求對探針機構進行橫縱調節，通過伸縮氣缸便于人員將探針結構進行安裝固定，通過安裝腔體、支撐板及安裝框體組件的配合使探針臺實現了XYZ軸的調節作業，通過CCD攝像頭實現了對探針機構的實時監控，通過顯示器可以將檢測及監控的實時情況進行顯示。

優選的，安裝腔體內設有與支撐板滑動連接的滑動結構，安裝腔體內安裝有貫穿支撐板的第三螺紋調節桿。通過滑動結構保證支撐板在平移期間的穩定性，并且滑動結構通過滑槽及滑塊組成，滑槽設置在安裝腔體內的底部，通過滑塊與支撐板滑動連接，通過第三螺紋調節桿的旋轉實現對支撐板的橫向平移調節。

優選的，支撐板的背面固定安裝有兩組安裝塊，安裝塊之間固定安裝有貫穿安裝框體的第二螺紋調節桿。通過安裝塊實現對第二螺紋調節桿的承接安裝，通過第二螺紋調節桿進行旋轉時帶動安裝框體進行上下調節，并且安裝框體卡套在支撐板上，上下時通過支撐板進行限位。