[實用新型]一種高精度拼接測量平臺

有效

• 申請號: 202220252399.2
• 申請日: 2022-02-08
• 公開（公告）號: CN217210757U
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 金鵬
• 申請（專利權）人: 蘇州盟訊電子有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 重慶百潤洪知識產權代理有限公司 50219
• 代理人: 劉立春

1.一種高精度拼接測量平臺，其特征在于：包括測量機臺、平面驅動組件以及形貌測量儀，所述測量機臺頂部設置有測量窗口，所述形貌測量儀倒置地設置在所述測量窗口下方，且所述形貌測量儀與所述測量機臺之間設置有升降驅動組件，所述平面驅動組件架設在所述測量窗口的側邊并露出所述測量窗口，所述平面驅動組件上設置有工件固定組件。

2.根據權利要求1所述的一種高精度拼接測量平臺，其特征在于：所述工件固定組件為電磁載物臺，所述電磁載物臺通過與其配合的磁性件夾持工件。

3.根據權利要求2所述的一種高精度拼接測量平臺，其特征在于：所述平面驅動組件包括X軸運動單元，所述X軸運動單元包括直線模組以及由所述直線模組驅動的主滑臺，所述電磁載物臺設置在所述主滑臺上，所述X軸直線運動單元為兩個，平行地設置在所述測量窗口的兩側。

4.根據權利要求3所述的一種高精度拼接測量平臺，其特征在于：所述平面驅動組件還包括Y軸運動單元，所述Y軸運動單元包括設置在所述主滑臺上的動力輪以及設置在所述電磁載物臺上的側移滑臺，所述側移滑臺沿Y軸方向滑動設置，所述動力輪與所述側移滑臺驅動連接，所述主滑臺上還設置有驅動所述動力輪的動力機構，所述動力輪繞X軸方向的軸轉動，所述磁性件為在Y方向上具有長度的板件且橫跨兩個平面驅動組件。

5.根據權利要求4所述的一種高精度拼接測量平臺，其特征在于：所述X軸運動單元和Y軸運動單元均由直線電機驅動，且所述主滑臺與所述側移滑臺均配合設置有光柵尺。

6.根據權利要求1所述的一種高精度拼接測量平臺，其特征在于：所述工件固定組件為真空吸附組件。

7.根據權利要求1-6中任一所述的一種高精度拼接測量平臺，其特征在于：所述測量機臺包括底座以及整體旋轉臺面，所述平面驅動組件設置在所述整體旋轉臺面上。